판매용 중고 PERKIN ELMER 2400 #293656734
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ID: 293656734
Sputtering system
With load lock
Platen optimum, 4.5"-6"
Load lock reduces pump down time
(3) Cathodes diameter, 8"
CT 8F Cryo vacuum station
LEYBOLD D Mechanical pump
RF Generator
Substrate table:
Water-cooled, 8"
Etch / Bias operations:
Up to 1 kW Etch
Variable bias: 0 to 50%
Control and meters:
Manual override toggle switches for load and tune controls
Target selector
Mode selector
Shutter position switches
RF Power adjust control
RF Power ON / OFF push button
Table bias
Forward power
Reflected power meter.
PERKIN ELMER 2400 (PERKIN ELMER 2400) 은 산업용으로 설계된 스퍼터링 장비로, 사용이 간편한 단일 플랫폼에서 최신 스퍼터링 기술을 결합합니다. 단일 플랫폼에 모듈식 디자인과 여러 프로세스를 갖춘 2400 은 대용량 기판에 스퍼터 (sputter) 대상의 산업 등급 고출력 증착을 제공합니다. 이 시스템은 다양한 증착 요구 사항에 따라 여러 개의 스퍼터 모드에 대해 구성 될 수있는 혁신적인 빔-중립 스퍼터 소스 (beam-neutral sputter source) 를 갖추고 있습니다. 또한 고수율 프로세스 제어 시스템을 사용하여 완벽한 결과를 보장합니다. 이 장치는 여러 샘플을 지원할 수 있으며, 오랜 기간 동안 안정적인 스퍼터 소스 (sputter source) 작동을 제공하도록 설계되었습니다. PERKIN ELMER 2400은 Planar Magnetron Sputter Chuck에 의해 구동되며, 이를 통해 큰 코팅 기판에 재료를 스퍼터링 할 때 균일 수준이 높아집니다. 이 기계의 디자인은 균일 한 균일 제어 스퍼터링 프로세스를 위해 기판의 표면 영역을 최적화합니다. 이 도구 에는 또한, 특정 한 "스퍼터 '필요 를 충족 시키고 훌륭 한 결과 를 얻을 수 있도록 조정 할 수 있는 모듈 식 평면" 마그네트론' 도 포함 된다. 또한 2400 은 자동화된 프로세스 추적 (Automated Process Tracking) 과 다양한 소프트웨어 패키지 (Software Package) 와 같은 고급 기능과 제어 기능을 통해 사용자가 프로세스 매개변수를 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 또한, 에셋은 추가 차폐가 필요하지 않도록 이온을 최소화하도록 설계되었습니다. PERKIN ELMER 2400은 탁월한 성능, 광범위한 기능 및 안정적인 작동을 제공하는 산업용 스퍼터링 모델입니다. 모듈 식 설계 및 다중 공정 제어 시스템 (Multiple Process Control System) 은 대형 코팅 기판을 스퍼터링 할 때 균일 수준이 높아집니다. 이 장비는 또한 오랜 시간에 걸쳐 안정적인 스퍼터 소스 (sputter source) 운영을 제공하도록 설계되었으며, 이는 산업 등급 스퍼터 작업에 완벽한 선택입니다.
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