판매용 중고 PERKIN ELMER 2400 #293615613
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PERKIN ELMER 2400 스퍼터링 장비는 모든 유형의 기질에서 금속, 절연체, 산화물 및 유전체의 얇은 필름을 생산하기위한 증착 도구입니다. 스퍼터링 시스템은 저압 환경 (low-pressure environment) 을 사용하여 기판에 단단히 부착되는 고균일 한 필름을 만듭니다. 스퍼터 레이트 (sputter rate) 와 작업 영역은 조정 가능하여 연구원들이 합금을 레이어하고, 재료를 선택하고, 필름의 두께를 세밀하게 조정할 수 있습니다. 또한 모듈식 (modular) 구성을 통해 필요에 따라 유연하게 기능을 구성하고 구성요소를 업그레이드할 수 있습니다. 2400은 격리 된 대피 하중 잠금 챔버를 사용하여 기판을 빠르고 효율적으로 로드합니다. 스퍼터의 주요 원천은 다중 대상 구성으로, 정확한 증착률과 균일성을 특징으로합니다. 이 장치는 또한 최대 12x12x12 인치의 기판을 처리 할 수 있으며, 이온 빔 폭격 전류 조정은 최대 200mA입니다. PERKIN ELMER 2400에는 기판 보유자를위한 회전 가능한 받침대 2 개가 포함되어 있으며, 회전 속도를 잘 제어하고 균일 한 코팅 증착을 촉진합니다. 자기 차폐 (Magnetic Shielding) 도 포함되어 있으며, 방출 전압 감소, 전류 분배 향상, 증착 시간 단축과 같은 독특한 특성이 있습니다. 세심한 설계 및 제조로 인해 2400 개의 스퍼터링 머신은 뛰어난 스퍼터 속도 균일성 (sputter rate unifority) 과 최소 증착을 제공합니다. 또한 대형 기판 또는 다중 목표물에서도 우수한 위치 정확도 및 반복 성을 유지합니다. 또한, 고급 소프트웨어에는 원거리 이미지 모니터링이 포함되어 있으며, 필요에 따라 조절 가능한 전력, 현재 모니터링, 목표 로터리 속도를 제공 할 수 있습니다. 전반적으로 PERKIN ELMER 2400 스퍼터링 도구는 모든 유형의 기질에 금속, 절연체, 산화물 및 유전체의 박막을 만드는 최첨단 도구입니다. 저압 환경, 회전 가능한 받침대, 고급 소프트웨어 기능, 자기 차폐 (magnetic shielding) 및 기판 크기 기능을 통해 연구자들은 위치 정확도와 반복성을 낮춰 매우 균일 한 결과를 얻을 수 있습니다.
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