판매용 중고 PERKIN ELMER 2400-SSA #9123997
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ID: 9123997
웨이퍼 크기: 2-8"
Physical vapor deposition system, 2"-8"
DC Magnetron cathodes
(1) RF etch station
CTI – 8 cryo pump
No mechanical pump
Power supply: 2KW
Power splitter for co-deposition.
PERKIN ELMER 2400-SSA 스퍼터링 장비는 재료 증착을 위해 설계된 고급 실험실 장비입니다. 하전 된 입자는 대상 재료 서피스로 가속화되어, 변위 (Disacing) 되고 기존 서피스와 원자 결합되어 매우 얇은 레이어 (Ultra-thin layer) 구성을 생성합니다. 스퍼터링 시스템은 박막 증착에 사용되어 마이크로 나노 전자 (micro nano-electronics), 유전체 (dielectric) 및 반도체 (semiconductor) 와 같은 수많은 산업 응용 분야의 특성이 개선 된 재료를 생산합니다. 2400-SSA 장치는 설치 및 운송이 용이한 소형 사용자 친화적 인 스퍼터링 머신입니다. X-Y 2 차원 평면 운동에서 작동하는 인체 공학적 디자인입니다. 이를 통해 반도체 구성을 만드는 데 정확하고 정확할 수 있습니다. 이 기기는 복잡한 설계에 대한 정확성을 높이기 위해 3 차원 도구로 업그레이드 할 수있는 기능도 있습니다. 이 자산은 다양한 스퍼터링 방법을 제공하는 4 포켓 소스 스퍼터링 전원 공급 장치를 사용합니다. 이 전원 공급 장치는 재질 증착 (material deposition) 정확도를 향상시키도록 설계되었으며 최대 10kW의 전력을 공급할 수 있습니다. 전원 공급 장치에는 최대 스퍼터링 주파수 (Sputtering Frequency) 와 고급 전류 대상 프로그래머가 장착되어 있습니다. 이 모델의 정교한 소프트웨어를 사용하면 기판 온도, 증착률, 증착력 등의 특성 매개 변수를 조정할 수 있습니다. 이 소프트웨어에는 에너지 합성 용량 (energy synthesis capacity) 기능도 포함되어 있으며, 이를 통해 사용자는 특정 충전, 전류 및 전압 설정을 사용하여 증착 매개변수를 개인화할 수 있습니다. 이 기능은 안정적인 재료 증착 일관성을 갖춘 초미세 표면 마무리를 초래합니다. PERKIN ELMER 2400-SSA 스퍼터링 장비는 다재다능한 장비로, 높은 온도 구배로 다중 위치 스퍼터링을 할 수 있습니다. 박막 증착 (Thin Film Deposition) 이 필요한 산업 응용을위한 완벽한 도구입니다. 이 시스템은 오염을 줄이고, 대용량 진공실 (vacuum chamber) 과, 생산성을 높이고 작업 조각을 관리하기 위한 고급 컨트롤러 (Advanced Controller) 를 위해 가스 타이트한 디자인을 갖추고 있습니다. 또한 2400-SSA 장치는 고급 스퍼터링 (sputtering) 기능이 필요한 다양한 산업 프로젝트에 비용 효율적이고 사용하기 쉬운 솔루션입니다.
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