판매용 중고 PERKIN ELMER 2400-8SA #153592

ID: 153592
Sputtering system with (1) 12" target.
PERKIN ELMER 2400-8SA는 뛰어난 박막 증착 성능을 제공하는 스퍼터링 장비입니다. 응용 프로그램에는 반도체 장치에 사용되는 박막 생산, 광학 다중 계층, 기계 부품 용 하드 코팅 (hard coating) 이 포함됩니다. 이 시스템은 최대의 유연성과 신뢰성을 위해 설계되었으며, 스퍼터 증착을 위해 다양한 맞춤형 기판 마운트 구성 및 마그네트론 소스 (magnetron source) 를 제공합니다. 이 장치는 동시 증착을 위해 최대 8 개의 기판을 수용 할 수있는 진공 챔버로 구성됩니다. 각 기판 은, 원하는 각도 와 회전 에 맞게 쉽게 조정 할 수 있는, 개별 "마운트 '위 에 앉는다. 챔버에는 조리개 판이 장착되어 있으며, 다양한 증착각이 가능합니다. 그런 다음 챔버는 석유 공급 터보 분자 펌프를 통해 대피하고 8 x 10-5 mBar의 기본 압력으로 고정됩니다. 스퍼터링 프로세스는 전원 공급 장치 및 마그네트론 소스에 의해 구동되며, DC, 펄스 DC 또는 RF 작업에서 작동하도록 설정 될 수 있습니다. 소스 구성에 따라, 기계는 금속, 금속-산화물, 절연체, 심지어 투명 필름과 같은 다양한 얇은 필름을 생성 할 수 있습니다. 또한, 마그네트론 소스에는 회전 목표 (옵션) 가 장착 될 수 있으므로 더 균일 한 스퍼터 증착이 가능합니다. 일관되고 반복 가능한 결과를 보장하기 위해 다양한 프로세스 제어 (process control) 및 모니터링 기술이 사용됩니다. 압력과 온도는 챔버 (chamber) 에서 측정되며, 마그네트론의 전력과 전압은 실시간으로 모니터링되어 박막 증착 공정의 정확한 제어를 보장합니다. 2400-8SA 도구는 사용 편의성과 유지 관리가 적도록 설계되었습니다. 직관적인 터치 스크린 인터페이스 (touchscreen interface) 를 갖춘 사용자는 최소한의 노력으로 메뉴 및 설치 작업을 신속하게 탐색할 수 있습니다. 또한, 진공실은 쉽게 접근, 편리한 유지 관리 및 청소를 위해 설계되었습니다. 전반적으로 PERKIN ELMER 2400-8SA 스퍼터링 자산은 박막 증착을위한 안정적이고 고성능 솔루션입니다. 유연성, 사용 편이성, 뛰어난 박막 증착 성능으로 인해 광범위한 산업/과학 분야에 이상적입니다.
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