판매용 중고 PERKIN ELMER 2400-8L #9193484

PERKIN ELMER 2400-8L은 3 개의 스퍼터링 소스가 장착 된 스퍼터링 장비로, 얇은 층을 효율적이고 균일하게 증착 할 수 있습니다. 표본 분석 (sample analysis) 이나 제조 (manufacturing) 를 위해 다양한 재료의 얇은 층을 증착해야 하는 재료 연구를 위해 특별히 설계되었습니다. 이 시스템은 GDOES (glow discharge optical emission spectrometry) 응용 프로그램 및 이종 기판을위한 층의 증착에 적합합니다. 이 장치에는 RF 전원 공급 장치, 13.56MHz RF 일치 네트워크 및 3 개의 스퍼터 소스로 구성된 8 인치 직경의 스퍼터 챔버가 있습니다. RF 전원 공급 장치는 최대 1kW의 전력을 공급하도록 설계되었으며, RF 일치 네트워크는 전압과 전류를 5 ~ 12kV 사이에서 정확하게 조정할 수 있습니다. 모션 시스템은 견고한 구조에 장착되어 샘플 캐비티 내부 직경 (8.3 인치) 을 갖는 기질의 정확하고 반복 가능한 위치 (positioning) 를 갖는다. 3 개의 표준 스퍼터 소스는 다양한 재료 조합 및 다중 마그네트론 구성을 수용하도록 설계되었습니다. 각 소스는 스퍼터 성분의 뛰어난 제어를 위해 1.675 인치 노즐 직경과 FIB (Marasion of Focused Ion Beam) 밀링 기판의 마찰을 줄이기 위해 6 인치 직경의 스테인리스 스틸 소스 챔버를 갖추고 있습니다. 스퍼터 소스 (sputter source) 에서 생성 된 자기장은 스퍼터 균일성 (sputter unifority) 및 증착률을 향상시키는 독특한 설계 기능을 허용하도록 조정할 수 있습니다. 스퍼터링 프로세스를 정확하게 제어 할 수있는 3 채널 조정 가능 타이머도 제공됩니다. 이러한 모든 기능은 탁월한 유연성을 제공하며, 증착 및 복제 프로세스를 정확하게 제어합니다. 이 기계는 공통 강철 인클로저 (steel enclosure) 에 장착되어 있으며 모든 부품에 대한 최적의 접근성을 위해 설계되었습니다. 전면 패널에는 모든 기능을 갖춘 컨트롤/디스플레이 장치 (control/display unit) 가 있어 프로세스 매개변수 및 데이터 입수를 쉽게 액세스할 수 있습니다. 간편하고 간단한 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 사용자는 이 도구를 빠르고 쉽게 설정하고 모니터링할 수 있습니다. 결론적으로, 2400-8L (2400-8L) 은 샘플 분석과 제조 모두에 얇은 층의 증착이 필요한 재료 연구에 이상적인 스퍼터링 자산입니다. 이 모델에는 사용자 친화적 인 3 가지 스퍼터 소스 (sputter source) 와 조절 가능한 타이머 (timer) 가 장착되어 있어 증착 및 복제 공정에 뛰어난 유연성과 정밀 제어 기능을 제공합니다.