판매용 중고 PELCO SC 7 #9273009

PELCO SC 7은 PELCO 스퍼터링 도구 라인의 일부로 Semicore Equipment, Inc.에서 개발 한 고급 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 반도체, 광전자 및 MEMS (micro-electromechancial system) 제조 공정에서 생산 스퍼터링에 사용하도록 설계되었습니다. SC 7 유닛은 최첨단 디자인으로 다양한 표면에서 스퍼터 리온 (sputterion) 증착에 이상적인 선택입니다. 이 기계는 금속, 산화물, 질화물, 금속 및 기타 물질을 스퍼터 할 수 있습니다. PELCO SC 7은 실리콘 웨이퍼, 유리, PET와 같은 단단하고 유연한 기판에 박막을 입금하는 데 사용될 수 있습니다. 증착을 위해 4 개의 2 "웨이퍼 또는 2 개의 5" 웨이퍼를 수용 할 수있는 304 시리즈 스테인리스 스틸 공정 챔버가 장착되어 있습니다. 큰 공정 챔버 (process chamber) 는 다양한 크기와 구성의 스퍼터링 기판에 더 큰 유연성을 제공합니다. SC 7은 증착률이 높으며, 최대 10nm/min의 효율적인 금속 증착이 가능합니다. 이 도구는 또한 매우 높은 오염 수준 (contamination level) 을 가지며, 이는 스퍼터링 프로세스의 매개변수를 자동으로 조정하여 오염 수준을 일관되게 유지하는 자동 조정 에셋에 의해 모니터링됩니다. 내장 ASC (Advanced Source Confinement Model) 는 기판의 깨끗하고 오염 없는 표면을 유지하는 데 도움이됩니다. PELCO SC 7은 가스 흐름, 목표 각도, 가스 타이밍, 전류 및 압력과 같은 튜닝 기능을위한 몇 가지 옵션을 사용하여 사용자 정의할 수 있습니다. 이 장비에는 고효율의 전원 공급 장치 모듈 (power supply module) 도 포함되어 있으며, 최대 2000와트의 전력을 공급할 수 있습니다. 이 전원 공급 장치 (Power Supply) 는 완전히 조정이 가능하므로 스퍼터링 프로세스의 특정 요구 사항에 맞게 정확하게 조정할 수 있습니다. 터보 분자 펌프 (turbomolecular pump), 질량 흐름 컨트롤러 (mass flow controller), 그리고 원하는 진공 환경을 유지하고 균일 한 필름 증착을 보장하도록 설계된 전조 (forepump) 를 포함하는 중앙 진공 시스템도 있습니다. SC 7은 다양한 응용 프로그램, 산업에 사용될 수있는 다목적 스퍼터링 장치입니다. 일관성 있고 정확한 결과를 제공하도록 설계되어 연구 개발, 산업 제조, 첨단 전자 제품 (high-tech electronics) 에 이상적인 옵션입니다. 고급 기능과 안정적인 운영으로, PELCO SC 7은 정확하고 효율적인 증착이 필요한 스퍼터링 프로젝트에 적합한 선택입니다.