판매용 중고 OERLIKON / UNAXIS Clusterline 300 #293778340

OERLIKON/UNAXIS Clusterline 300은 반도체 및 고급 재료 산업에서 고정밀 박막 증착을 위해 설계된 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 이 고급 도구는 최신 기술 향상을 활용하여 스퍼터링 (sputtering) 프로세스에서 탁월한 성능과 다양한 기능을 제공합니다. UNAXIS Clusterline 300 시스템의 핵심은 뛰어난 유연성과 확장성을 제공하는 클러스터 툴 아키텍처입니다. 이 장치는 중앙 전송 모듈 (Central Transfer Module) 을 통해 상호 연결된 여러 공정 챔버 (Process Chamber) 로 구성되며, 여러 공정 단계 간에 기판을 원활하게 전송할 수 있습니다. 이 모듈식 설계를 통해 사용자는 특정 요구 사항에 맞게 시스템 구성을 사용자 정의하고 필요에 따라 공구의 용량을 손쉽게 확장할 수 있습니다 (영문). OERLIKON Clusterline 300 도구의 주요 기능 중 하나는 고급 스퍼터링 기능입니다. 이 자산에는 마그네트론 스퍼터링 (magnetron sputtering) 과 반응성 스퍼터링 (reactive sputtering) 을 포함한 다양한 스퍼터링 소스가 장착되어 있어 균일성과 재생성이 높은 다양한 재료를 증착할 수 있습니다. 이 스퍼터링 소스는 다양한 기판 크기와 모양을 수용하도록 다양한 형상 (geometries) 으로 구성 될 수 있으며, 다양한 범위의 기판에 박막 (thin film) 을 배치하는 유연성을 제공합니다. Clusterline 300 모델은 또한 고급 프로세스 제어 기술을 통합하여 증착 프로세스를 정확하게 제어합니다. 이 장비에는 가스 유량 (gas flow rate), 스퍼터링 파워 (sputtering power), 기판 온도 (기판 온도) 와 같은 주요 프로세스 매개변수를 지속적으로 모니터링하는 실시간 모니터링 및 피드백 시스템이 장착되어 있습니다. 이 실시간 피드백을 통해 사용자는 즉석에서 프로세스 조건을 최적화하여 필름 품질과 성능을 향상시킬 수 있습니다 (영문). 또한, OERLIKON/UNAXIS Clusterline 300 시스템은 장치를 쉽게 프로그래밍 및 작동할 수있는 사용자 친화적 인 인터페이스를 갖추고 있습니다. 직관적인 소프트웨어 인터페이스를 통해 프로세스 매개변수 (process parameter) 와 레시피 (recipe) 관리를 완벽하게 제어할 수 있으며, 복잡한 증착 프로세스를 간편하게 설정하고 실행할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 운영자를 보호하고 안정적이고 일관된 작동을 보장하기 위해 고급 안전 (safety) 기능을 갖추고 있습니다. UNAXIS Clusterline 300 도구는 스퍼터링 기능 외에도 기판 청소, 사전 처리, 현장 모니터링 등의 기능에 대한 추가 프로세스 모듈을 통해 더욱 향상될 수 있습니다. 이러한 옵션 모듈은 공구 아키텍처에 완벽하게 통합될 수 있으며, 특정 요구 사항에 맞춘 종합적인 박막 (Thin Film) 증착 솔루션을 만들 수 있습니다. 전반적으로 OERLIKON Clusterline 300은 다양한 박막 증착 어플리케이션에 탁월한 성능, 다용성, 신뢰성을 제공하는 최첨단 스퍼터링 에셋입니다. 고급 기술, 모듈식 디자인, 사용자 친화적 인터페이스로, Clusterline 300 모델은 고정밀도 및 유연한 박막 증착 솔루션을 원하는 반도체 제조업체, 연구 기관, 고급 재료 개발자에게 이상적인 선택입니다.