판매용 중고 OERLIKON / UNAXIS Clusterline 200 #293643906
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OERLIKON/UNAXIS Clusterline 200 스퍼터링 장비는 박막을 금속, 세라믹 및 플라스틱과 같은 다양한 기판에 증착시키는 고급 다용도 프로세스입니다. 이 도구를 사용하면 다양한 기술을 사용하여 다양한 재료 소스에서 금속, 반도체 및 유전체 필름 (dielectric film) 을 증착 할 수 있습니다. UNAXIS Clusterline 200에 사용되는 특정 스퍼터링 방법을 Single-Batch Sputtering Process라고합니다. OERLIKON Clusterline 200은 안정적이고 재현 가능한 처리를 위해 설계되었습니다. 또한 자동화된 제어 및 프로세스 모니터링, 고정밀 (High-Precision) 포지셔닝 및 로드 잠금 (Load Locking) 등 여러 기능이 탁월한 성능에 기여합니다. 또한, 최고의 품질의 필름과 안정적인 성능을 보장하는 수많은 혁신적인 디자인 (design) 요소가 포함되어 있습니다. 이러한 요소에는 컴퓨터 제어 로봇 암을 수용하는 추가 챔버, 광학 모니터링 시스템 및 폐쇄 루프 프로세스 제어 장치 (closed-loop process control unit) 가 포함됩니다. Clusterline 200 작업 중에 여러 프로세스 매개 변수가 동시에 모니터링됩니다. 이러한 매개변수는 실시간으로 조정될 수 있으므로 증착 조건 (deposition condition) 을 세밀하게 조정하여 고화질 (high film quality) 과 수율 (yield) 을 보장할 수 있습니다. 뿐 만 아니라, 기계 에는 "플라즈마 '발전기 가 장착 되어 있으며, 최대 4 개 의 다른 표적 재료 를 적재 할 수 있으며, 단일 배치 로 여러 층 을 증착 할 수 있다. OERLIKON/UNAXIS Clusterline 200은 반도체 제조, 마이크로 일렉트로닉 장치 제조 및 광학 코팅을 포함한 광범위한 응용 분야에 사용될 수 있습니다. 이 툴은 SMB (중소, 중견, 성장 기업) 와 대규모 제품 모두에 적합하며 고객의 구체적인 요구에 따라 구성할 수 있기 때문에 매우 유연합니다. 또한, 사용자는 프로세스 매개변수를 광범위하게 제어하여 경제적이고 효율적인 생산성을 보장합니다. 전반적으로 UNAXIS Clusterline 200 은 다목적, 신뢰할 수 있는 스퍼터링 툴로, 고품질의 박하 박하 용지에 적합합니다. 정교한 디자인과 자동화된 제어 자산 (Automated Control Asset) 은 최고의 필름 품질과 균일성을 보장하여 사용자가 성공적인 제작 프로세스를 보장합니다.
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