판매용 중고 OERLIKON / BALZERS Sprinter #9236424

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ID: 9236424
빈티지: 2000
Sputtering systems (8) Chambers Cathode / Power ARQ21 RF / ADVANCED ENERGY 5513 ARQ21 RF / ADVANCED ENERGY 5513 ARQ21 DC / ADVANCED ENERGY Pinnacle ARQ21 DC / ADVANCED ENERGY Pinnacle ARQ21 RF / ADVANCED ENERGY 5513 ARQ21 DC / ADVANCED ENERGY Pinnacle ARQ21 DC / ADVANCED ENERGY Pinnacle 2000 vintage.
OERLIKON/BALZERS Sprinter는 다양한 박막 코팅 응용 프로그램을위한 고급 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 프로세스 사용자 정의를 위한 다양한 옵션으로 높은 증착율을 달성하도록 설계되었습니다. 멀티 스테이지 스퍼터링 형상을 활용하여 시작 재료와 재생성을 향상시킵니다. 또한 재료 독립 음극 (material independent cathode) 을 특징으로하여 다양한 전원 공급 장치 (variable power supplies) 뿐만 아니라 다양한 재료를 증착하여 최적의 코팅 조건을 달성 할 수 있습니다. BALZERS Sprinter에는 2-in-one 음극/대상 디자인이 포함되어 있어 효율적인 재료 소비와 높은 처리량을 제공합니다. 가스 주입기 (gas injection machine) 는 스퍼터링 챔버 전체에서 균일성과 균질성을 보장하는 반면, 적응 공정 제어는 프로세스가 일렬로 유지되도록 보장합니다. 조절 가능한 RF 전원 수준과 함께 독특한 히터 (heater) 설계를 통해 대상 재료의 온도를 미리 가열하고 제어 할 수 있습니다. OERLIKON Sprinter에는 쿼츠 모니터가 장착되어 있어 광섬유 (optical fiber) 기능과 코팅 및 스퍼터링 프로세스에 사용할 수있는 최고 해상도 (optic) 가 제공됩니다. 또한 제어 시스템이 통합 된 쿼츠 크리스탈 모니터 (quartz crystal monitor) 와 같은 유지 보수 기능이 낮아 기판에 먼지 축적을 방지합니다. 또한 효율적이고 결함이없는 물질 증착을 보장하는 오염 방지 시스템이 포함되어 있습니다. 마지막으로, 스프린터 (Sprinter) 의 흰색 세라믹 챔버가 제공하는 결함이없는 표면 커버리지는 다양한 응용 프로그램을 가능하게합니다. 결론적으로 OERLIKON/BALZERS Sprinter 스퍼터링 도구는 박막 코팅 응용 프로그램에 높은 처리량, 고해상도 성능을 제공합니다. 자산은 재료 독립 음극, 가변 전원 공급 장치, 낮은 유지 보수 구성 요소 및 효율적인 재료 소비를 실현하는 2-in-one 음극/대상 설계를 제공합니다. 마지막으로, 가스 분사 모델 (gas injection model), 히터 디자인 (heater design) 및 적응 공정 제어 (adaptive process control) 와 같은 고급 기능은이 장비를 정확하고 일관된 스퍼터링 프로세스가 필요한 사람들에게 이상적인 선택으로 만듭니다.
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