판매용 중고 OERLIKON / BALZERS LLS EVO #9208365

OERLIKON/BALZERS LLS EVO는 박막 코팅 제조에 산업 및 연구 실험실에서 사용되는 고도의 스퍼터 증착 장비입니다. 여러 가지 고유한 기능을 통해 고급 성능 (Advanced Performance) 을 제공하며, 기판에 재료의 증착을 고급 제어할 수 있습니다. 기본 스퍼터링 시스템 (Sputtering System) 은 진공 챔버 (Vacuum Chamber) 로 구성되며, 두 개의 개별 소스가 챔버 내에 물리적으로 배치되어 전원 공급 장치에 연결됩니다. 원천은 원통형 또는 평면 일 수 있으며, 다양한 소스 재료가 있습니다. 소스에 대한 피드는 입력 재료를 정확하게 제어 할 수있는 솔리드 스테이트 밸브 (solid-state valves) 에 의해 제공됩니다. 약실은 매우 높은 진공 환경 또는 저압 반응 환경 하에서 작동 할 수 있습니다. 이 기능은 기판에 원하는 재료를 생성할 수 있는 유연성을 제공합니다. BALZERS LLS EVO의 RF 소스를 사용하면 균일 한 코팅 (coating) 을 생산하여 재료 내에서 결함이 높은 영역이 발생할 가능성을 줄일 수 있습니다. 이는 무선 주파수 신호 (radio frequency signal) 를 사용하여 양극 (anode) 과 음극 (cathode) 표면 사이에 공진 주파수를 생성함으로써 달성된다. 이 공명 은 "챔버 '에 있는 이온화 된 입자 의 수 를 증가 시키며, 그 결과 증착 속도 와 균일성 을 향상 시킨다. OERLIKON LLS EVO는 또한 특허를받은 솔리드 스테이트 셔터 장치를 통합합니다. 이 기계는 매우 빠르며 정확한 펄스 제어를 허용합니다. 펄스 (pulsing) 는 피크 파워에서 더 높은 이온 개체수를 가능하게하며 증착 주기를 빠르게 시작하고 멈출 수있는 기능을 제공합니다. 이로 인해 입자의 이온화가 증가하여 증착 시간이 짧아지고 코팅 품질이 높아집니다. LLS EVO는 또한 빠르고 쉬운 웨이퍼 교환 및 처리를 제공합니다. 매우 정확한 2축 정렬기를 사용하여 챔버 간 웨이퍼를 이동합니다. 이를 통해 최적의 증착을 위해 정확한 기판 배치가 가능합니다. 고급 제어 시스템과 결합 된 OERLIKON/BALZERS LLS EVO는 고품질 박막 코팅을 생산하기위한 매우 다양한 도구를 제공합니다. 이 챔버 (Chamber) 는 다양한 노출 조건에서 다양한 재료를 생산할 수 있으며, 결함률이 낮습니다. 이 자산은 매우 효율적이며, 생산 라인 응용 프로그램 (production line application) 과 코팅 기술 연구 및 개발에 적합합니다.