판매용 중고 OERLIKON / BALZERS LLS EVO #9081784

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ID: 9081784
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2000
Load lock sputtering system, 6" Process: TaN Polycold set up for both chambers 12 wafers per run Could run 4 targets Computer and Windows 7 included Cryo pump load chamber Turbo main chamber Currently de-installed 1999-2000 vintage.
OERLIKON/BALZERS LLS EVO는 전자 부품 생산에 사용하도록 설계된 스퍼터링 장비입니다. 중견, 성장, 중견 기업과 연구 애플리케이션 모두에 이상적인 대용량 툴입니다. 이 시스템은 수동화 (passivation), 금속화 (metalization), 진공 증착 (vacuum deposition) 과 같은 현대 기업의 박막 증착 요구를 위한 사용하기 쉬운 솔루션을 제공합니다. BALZERS LLS EVO는 스퍼터링 프로세스에서 높은 수준의 유연성을 제공하도록 설계되었습니다. 그것 은 금속, 산화물, 유전체 등 여러 가지 물질 을 증착 할 수 있으며, 최적 의 효율성 을 보장 하기 위한 여러 가지 "스퍼터링 '기술 을 제공 한다. 이 장치는 스퍼터링 프로세스를위한 멀티 존 진공 챔버 (multi-zone vacuum chamber), 정밀한 재료 증착 제어를위한 컴퓨터 제어 컨트롤러 (computer-controlled controller) 및 효율적인 대상 교환을위한 고급 스퍼터 대상 부착 머신으로 구성됩니다. 높은 수준의 유연성과 성능 외에도 OERLIKON LLS EVO는 자동화 된 프로세스 제어, 고출력 스퍼터링 기능, 고정밀 전계 방출 스캐닝 전자 현미경, 강력한 데이터 분석 도구 등 다양한 기능을 제공합니다. 또한 일반 청소 (regular cleaning) 및 주기적 센서 교정 (periodic sensor calibration) 과 같은 예방 유지 보수를위한 여러 단계의 긴 수명을 갖도록 설계되었습니다. 이를 통해 매번 일관된 결과를 얻을 수 있는 고품질 제품을 확보할 수 있습니다. 전반적으로 LLS EVO는 고품질의 박막 재료를 생산할 수있는 강력한 스퍼터링 도구입니다. 컴퓨터 제어 공정 제어 (computer-controlled process control), 고정밀도 전계 방출 스캐닝 전자 현미경 (high-precision field emission scanning electron microscopy), 강력한 데이터 분석 도구 등의 고급 기능을 제공하는 반면, 다양한 재료와 기술을 처리할 수 있는 유연성을 제공합니다. OERLIKON/BALZERS LLS EVO는 수명이 길고 안정적인 성능으로 다양한 프로덕션 어플리케이션에 적합한 도구입니다.
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