판매용 중고 OCLI METAMODE #9172565

OCLI METAMODE는 최첨단 실험실 환경에서 세라믹, 필름 및 기타 재료를 효율적이고 반복적으로 증착하도록 설계된 스퍼터링 장비입니다. 최신 기술과 엔지니어링을 결합한 이 시스템은 연구, 산업, 상업적 용도로 깔끔하고, 효율성이 높으며, 반복 가능한 박막 증착을 위해 설계되었습니다. METAMODE는 고효율, 폐쇄 루프 사이클 모드에서 작동하는 자동 스퍼터 머신입니다. 그것 은 중앙 진공실 을 함유 하고 있는데, 거기 에는 "기판 '이 가열 지대 와" 스퍼터' 표적 에 배치 되어 있다. OCLI METAMODE에는 펄스 발전기가 장착 된 펄스 DC (pulsed-DC) 전원 공급 장치가 있으며, 정확하고 반복 가능한 목표 밀도 및 필름 증착이 가능합니다. 또한 일련의 독립 질량 흐름 컨트롤러 (Independent Mass Flow Controller) 와 자동 개체 처리 및 기판 회전 장치 (Substrate Rotation Unit) 가 있습니다. 이 기계는 대규모 스퍼터 증착, 저온 스퍼터 증착, 단일 소스 스퍼터 시스템 등 다양한 스퍼터링 구성을 수용하도록 설계되었습니다. 객체 처리 도구 (Object Handling Tool) 는 증착을 여러 표적으로 확장하는 기능을 높이고 고급 기판 가열 구역은 다양한 기질 화학 물질 및 표적 필름 증착에 대한 추가 유연성을 제공합니다. 메타 모드 (METAMODE) 의 설계를 통해 두께와 균일성 제어가 뛰어나고 증착률이 우수하면서 일관되고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 자산의 매우 낮은 가스 처리 속도는 기판에서 섬세한 유기 물질을 최소화 한 것 외에도 초고진공 (UHV) 조건에서 최대 가시성을 보장합니다. OCLI METAMODE에는 개체 온도, 기판 위치, 온도, 상대 습도, 압력 등의 매개 변수를 모니터링하기 위한 고급 진단 기능이 있습니다. 이 모델은 또한 안전성을 강화하기 위해 시간 제한 작동, 비상 차단 스위치, 경보 (alarm) 와 같은 내장 안전 기능을 제공합니다. METAMODE는 최적의 박막 증착을 위해 비용 효율적인, 고성능, 반복 가능한 스퍼터링 장비입니다. 고급 설계 및 진단 기능을 갖춘 이 시스템은 탁월한 증착 결과와 일관성을 제공합니다. 연구, 상업 및 산업 응용 분야에 이상적이며, 도자기, 영화, 기타 부품 등 다양한 재료를 증착하는 데 적합합니다.