판매용 중고 NRC / VARIAN 3177 #9144755

NRC/VARIAN 3177은 기판의 박막 침착에 사용되는 물리적 증기 증착 장비입니다. 스퍼터링 프로세스 (sputtering process), 펌핑 스테이션 (pumping station), 기계 플랫폼 (mechanical platform) 및 제어 장치 (control unit) 를 생성하기위한 DC 전원 공급 장치를 포함한 스퍼터링 챔버로 구성된 작은 모듈로 구성됩니다. 또한 NRC 3177 시스템에는 필름 특성화 및 기타 고급 기능을위한 구성 요소가 포함되어 있습니다. 스퍼터 증착 모듈은 DC 광선 방전 공정을 사용하여 대상 (일반적으로 금속 또는 합금) 에서 기판으로 물질을 증발하도록 설계되었습니다. 여기에 사용 된 DC 전원 공급 장치 (DC power supply) 는 글로우 방전 (glow discharge) 을 사용하여 대상 물질에서 플라즈마 필드를 생성하여 이온이 기판에 끌릴 때 대상 원자를 기판으로 배출합니다. 증착 과정은 사용 된 재료, 챔버 압력 (chamber pressure), 적용 된 힘 (applied power) 및 표적과 기판 표면 사이의 작업 거리에 의해 조절됩니다. "펌프 '발전소 는" 스퍼터링' 실 에서 필요 한 진공 상태 를 유지 하기 위한 "터어보 '분자" 펌프' 와 기계 "펌프 '로 구성 되어 있다. 소프트웨어 제어 장치 (Software Control Unit) 는 가스 흐름 비율을 모니터링하고 변경하여 챔버 압력을 제어합니다. 기계 플랫폼에는 대상 재료, 기판 캐리어 및 측면 베어링이 있습니다. 표적은 일반적으로 원형이며 지름이 최대 8 "이며, 기판 캐리어는 다양한 크기의 기판을 수용하도록 조정 할 수 있습니다. 이 플랫폼에는 고급 샘플 온도 컨트롤러 (advanced sample temperature controller) 가 포함되어 있으므로 기판의 온도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 제어 장치 (Control Unit) 는 소프트웨어 인터페이스를 실행하는 개인용 컴퓨터로 구성되며, 이 컴퓨터는 장치의 다양한 구성 요소를 제어합니다. 직관적 인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 사용자는 필름의 원하는 속성에 따라 다른 배치 (deposition) 매개변수를 프로그래밍할 수 있습니다. 또한 실험 데이터 관리 및 아카이빙 도구도 제공합니다. VARIAN 3177 스퍼터링 머신 (sputtering machine) 은 고품질의 박막 증착을 제공하며, 오늘날의 박막 장치의 높은 수요를 충족시키기 위해 쉽게 업그레이드 할 수 있습니다. 스퍼터링 공정은 산화물, 질화물, 순수한 금속 및 금속 합금의 증착에 적합하며, 다양한 응용에 적합합니다. 이 도구는 신뢰할 수 있고, 사용하기 쉽고, 다양한 어플리케이션을 위한 이상적인 선택입니다.