판매용 중고 NRC / VARIAN 3177 #9122993

NRC/VARIAN 3177은 박막 증착을위한 스퍼터링 장비입니다. 기판에 박막 금속 (thin-film metal) 이나 유전층 (dielectric layer) 을 만들 수 있는 정확하고 안정적인 도구를 제공하도록 설계되었습니다. NRC 3177은 진공 챔버와 전원 공급 장치 (PSU) 로 구성됩니다. 시스템의 중심에는 진공실이 있는데, 진공실 (vacuum chamber) 은 높은 진공 환경을 만들고 유지하도록 설계되었습니다. 챔버의 저진공 영역은 bilayer sputtering (BLS) 또는 tri-layer sputtering (TLS) 에 사용됩니다. 즉, 챔버를 사용하여 높은 접착도와 부드러운 표면을 가진 스퍼터링 된 필름을 생성 할 수 있습니다. 방은 완전히 밀봉되어 있으며, 오염을 최소화하고 청소를 쉽게 만드는 기능입니다. 전원 공급 장치 (Power Supply) 와 컨트롤 보드 (Control Board) 로 구성된 PSU는 스퍼터링 프로세스를 제어하는 데 사용됩니다. 전원 공급 장치는 최대 1800 볼트의 DC 전원, 최대 100 암프의 전류를 공급할 수 있으며, 다양한 유형의 스퍼터링을 허용합니다. 또한, 제어 보드는 다양한 사전 프로그래밍 (preprrogrammed) 매개변수를 제공하거나 특정 증착 프로세스의 요구에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. VARIAN 3177은 장벽 및 cosolvent 레이어, 다중 계층 구조, 확산 장벽 등 다양한 박막 응용 프로그램을 생성 할 수 있습니다. 또한 직경이 최대 200mm 인 다양한 기판 크기를 처리 할 수 있습니다. 3177은 2 개의 내장 가스 라인 (gas line) 을 특징으로하며, 스퍼터링 과정에서 압력을 조절하고 스퍼터링 (sputtering) 끝에 비활성 가스 (inert gas) 를 도입하는 데 사용될 수 있습니다. 이 장치에는 또한 데이터 로깅 머신 (data logging machine) 이 장착되어 있으며, 이를 통해 사용자는 향후 참조를 위해 프로세스 관련 데이터를 저장할 수 있습니다. 직관적인 운영 인터페이스 덕분에 NRC/VARIAN 3177은 사용하기 쉽습니다. 정밀 제어 (precision control), 데이터 로깅 (data logging), 다양한 호환 기판 (compatible substrate) 과 같은 고급 기능을 통해 다양한 씬 필름 증착 요구를 충족할 수 있습니다.