판매용 중고 NRC / VARIAN 3125 #180327
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ID: 180327
E-Beam Evaporator
2-Axis planetary
Quartz lamp heaters
Horizontal stainless steel water cooled chamber, 30" diameter x 30" deep
CTI-10 Cryogenic pump
4-Pocket electron beam gun
Electron beam power supply, 10kW
X-Y Beam sweep
Quartz lamps.
NRC/VARIAN 3125 Sputter Equipment는 고급 박막 기술이 필요한 산업을 위해 설계된 스퍼터 코터입니다. 직류 (DC) 마그네트론 스퍼터 소스를 사용하여이 시스템은 균일 하고, 이상화되고, 금속으로 된 얇은 필름, 합금, 유전체 및 기타 재료를 증착 할 수 있습니다. 전도성 및 비 전도성 표면을 모두 코팅하는 데 사용할 수 있습니다. 이 장치는 강하고 지속적인 듀티 진공 펌프 장치를 사용하여 스테인리스 스틸 진공실 하단에 장착 된 옥토폴 DC 마그네트론 (Octopole DC magnetron) 소스로 구성됩니다. 진공 챔버를 사용하면 NRC 3125가 광범위한 압력과 온도 하에서 작동 할 수 있습니다. 이 소스에는 조정 가능한 소스 홀더 (source holder) 와 최대 500W (power range) 가 있어 모든 증착 요건을 조정할 수 있습니다. 소스는 0V ~ 500V의 다양한 직류 전압으로 작동하여 플라즈마 (Plasmas) 의 제어에 대한 최종성을 제공합니다. VARIAN 3125 스퍼터 머신은 또한 청소 및 증착에 대한 뛰어난 반복성을 제공합니다. 고급 컴퓨터 제어 (Advanced Computer Control) 를 통해 사용자는 압력 값에서 온도 범위까지 자체 매개변수를 프로그래밍할 수 있습니다. 또한, 최대 9 개의 재료를 동시에 스퍼터링하도록 3125를 프로그래밍 할 수 있습니다. 사용자 특정 응용 프로그램 (User Specific Application) 을 위한 도구를 더욱 사용자 정의하고 성능을 향상시키는 다양한 옵션 상자도 있습니다. 마지막으로, 자산을 고도로 자동화하여 실시간으로 모니터링, 기록, 문서화할 수 있습니다. 결론적으로 NRC/VARIAN 3125 스퍼터 모델 (Sputter Model) 은 박막 및 고급 기판 제작에 신뢰할 수있는 솔루션을 제공합니다. 내구성이 뛰어난 진공 실과 DC 소스를 고급 컴퓨터 제어 응용 프로그램 및 다중 옵션 사용자 정의 설정과 결합하여 NRC 3125 (옵션) 는 다양한 응용 프로그램에 적합합니다.
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