판매용 중고 NRC / VARIAN 3117 #9160339

NRC/VARIAN 3117은 재료 증착에 비활성 가스를 사용하는 대규모 스퍼터링 장비입니다. 2 축 동력 정밀 단계에 장착 된 2 개의 고출력 마그네트론 스퍼터링 헤드가 특징입니다. 각 헤드는 각각 최대 70mA 및 160mA의 이온 전류를 생성하는 5kW 또는 20kW의 DC 전력으로 구동됩니다. 이 시스템에는 최대 8 개의 독립 가스로 프로세스 분위기를 제어하는 멀티 가스 (multi-gas) 기능이 장착되어 있습니다. 여기에는 사전 프로그래밍된 프로세스 레시피가 포함된 자동 디지털 프로세스 컨트롤러가 포함되어 있어 작업을 쉽게 수행할 수 있습니다. NRC 3117에는 큰 60cm x 40cm 메인 챔버가 있으며, 견본 로딩이 용이한로드 잠금 메커니즘이 내장되어 있습니다. 이를 통해 최대 4 개의 타겟을 2 개의 스퍼터링 헤드에 동시에 장착 할 수 있습니다. 이 장치에는 다양한 크기 및 기판 모양을 수용 할 수있는 12 "회전 가능한 기판 홀더가 포함되어 있습니다. VARIAN 3117은 정교한 석영 기반 비활성 가스 분배기 (inert gas distribution machine) 를 사용하여 챔버 전체에 스퍼터링 가스의 정확하고 균일 한 분포를 보장합니다. 이 이중 제어 매니 폴드 (dual-controlled manifold) 도구는 독립적으로 작동하거나 원하는 프로세스 대기를 달성하기 위해 가스를 혼합하는 데 사용될 수 있습니다. 정밀 질량 흐름 제어기 (정확도 보정) 를 사용하여 챔버의 압력을 모니터링하고 조정합니다. 3117에는 모델의 전체 성능을 나타내는 '펄스 카운트 (Pulse Counts)' 라는 현장 자산 모니터링 기능도 있습니다. 또한, 장비는 최대 10 개의 다른 프로세스 레시피를 상세한 진단 정보와 함께 저장할 수 있습니다. NRC/VARIAN 3117 스퍼터링 시스템 (Sputtering System) 은 다양한 프로세스에 대해 최대 용량의 대용량 박막 출력을 제공하도록 설계되었습니다. 큰 챔버, 정밀 제어, 다목적 가스 시스템 및 가변 스퍼터링 헤드 파워 (sputtering head power) 를 사용하여 특정 증착 요구를 충족하도록 맞춤 조정할 수 있습니다. NRC 3117 스퍼터링 장치 (Sputtering Unit) 는 수년 동안 신뢰할 수있는 서비스를 위해 탁월한 성능과 오래 지속되는 결과를 보장하도록 설계되었습니다.