판매용 중고 NRC / VARIAN 3117 #3842

NRC/VARIAN 3117 (NRC/VARIAN 3117) 은 다양한 기판에 박막 증착을 생성하도록 설계된 고성능 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 분당 500 옹스트롬 (Angstrom) 을 초과하는 증착률을 가능하며 반도체 제조 산업과 광학, MEMS, 박막 산업 등에서 사용됩니다. NRC 3117에는 마그네트론 구성의 최적화 된 펄스 DC 스퍼터 소스가 있습니다. 이 구성은 기판에 균일 한 커버리지로 정확하게 제어 된 박막 증착을 가능하게합니다. 이 장치에는 가스 유형 (Gas-Type) 또는 레이어 유형 (Layer-Type) 스퍼터링에 대해 구성할 수있는 단일 스퍼터 소스도 포함되어 있습니다. 바리안 3117 (VARIAN 3117) 에는 증착율을 모니터링하고 실시간으로 조정하는 기능과 같은 고급 증착 제어 기능이 장착되어 있습니다. 기계는 또한 스퍼터링 대상의 조절 가능한 압력을 통해 필름의 형태 및 불순물 (impurity) 수준을 정확하게 제어합니다. 3117에는 모듈식 디자인이 있어 빠른 설치 및 작업 설정이 가능합니다. 이 도구에는 스퍼터링 (Sputtering) 자산의 성능에 관한 귀중한 데이터를 제공하는 고급 진단 (Advanced Diagnostics) 기능도 있습니다. 자동 카세트 로딩, 기판 크기 감지, 기판 위치 지정 컨트롤러 등 다양한 자동화 기능이 설계에 통합되었습니다. NRC/VARIAN 3117은 NFPA-79 및 CSA C22.2 No.14-91과 같은 주요 안전 관련 표준을 완전히 준수합니다. 또한 발전기 사용 허가 (Permit-to-Operate) 기능을 통해 운영 프로세스를 표준화하고 검증할 수 있습니다. 또한, NRC 는 생산 속도 가 빨라질 때 에도 매우 정확 한 결과 를 얻을 수 있다. 전반적으로 NRC 3117 모델은 강력하고 효율적인 스퍼터링 (sputtering) 장비로, 다양한 기판에서 일관된 박막 증착을 위해 광범위한 최적화 기능을 제공합니다. 고급 진단 (Diagnostics) 및 자동화 (Automation) 기능과 결합된 다목적 설계로, 다양한 생산 요구에 적합합니다.