판매용 중고 NRC / VARIAN 3117 #293625152

NRC/VARIAN 3117 장비는 복잡한 다층 박막을 생산할 수있는 정교한 스퍼터링 시스템입니다. 스퍼터 챔버 (sputter chamber), 표적로드 락 (loadlock) 및 가변 고 진공 펌핑 장치 (high-vacuum pumping unit) 등 여러 가지 구성 요소로 구성됩니다. 스퍼터 챔버는 완전 밀폐 및 수냉식 스테인리스 챔버입니다. 그것은 디지털로 제어 된 가변 전력을 가진 2 개의 독립적 인 윤곽 평면, 이중 마그네트론 소스를 갖추고 있습니다. 이를 통해 증착률이 매우 높은 정확하고 정확하게 정의 된 대상 (target) 모양의 스퍼터링을 허용합니다. "스퍼터링 '재료 를" 스퍼터 챔버' 로 수송 하기 위한 튼튼 한 자동화 된 방이다. 또한 부하 일치 (load-matching) 기능을 통해 후면 압력을 최소화하여 재료를 전송할 수 있습니다. 가변 고 진공 펌핑 머신 (high-vacuum pumping machine) 은 최적의 프로세스 제어를 제공하며, 다양한 고체와 가스를 스퍼터링할 수 있습니다. 이 도구는 또한 샘플 플래튼 홀더 어셈블리, 폐쇄 사이클 냉장 자산, 스퍼터 내 샘플 클리닝 및 스퍼터 내 디가싱 기능 등 몇 가지 프로세스 별 특수 기능을 포함합니다. 전반적으로, NRC 3117 스퍼터링 모델은 최적의 정확성, 반복성, 신뢰성을 갖춘 고품질의 복잡한 멀티 레이어 박막 (thin film) 을 생산할 수있는 고급 기술입니다.