판매용 중고 NRC / VARIAN 3117 #293621573

NRC/VARIAN 3117은 다양한 재료의 박막 및 막을 효율적으로 증착하도록 설계된 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 그것 은 금속, 반도체, 유전체, 중합체 로 만든 것 과 같은, 다양 한 형태 의 박막 과 막 을 만드는 데 사용 될 수 있다. 이 시스템은 스퍼터링 소스와 진공 챔버 (vacuum chamber) 의 두 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 스퍼터링 소스는 3 개의 평면 마그네트론과 2 개의 회전 자석을 가진 강력한 마그네트론으로, 강렬한 자기장을 생성합니다. 이 자기장은 소스 챔버에 에너지 전자의 캐스케이드를 유발합니다. 이 전자 들 은 표적 물질 을 폭격 하고, 원자 를 지표 에서 방출 하여, 중성 원자 구름 을 만든다. 그 다음 에 이 원자 구름 즉 "플라즈마 '는 진공실 로 옮겨져, 그것 은" 기판' 에 박막 이나 막 을 증착 시킨다. 진공실은 1 x 10-6 Torr 이하의 기본 압력을 달성 할 수있는 원통형 스테인리스 스틸 선박입니다. 기판 설정, 지원 암, 수동으로 조절 가능한 노즐, 온도 조절 용 히터 및 저항기, 기타 보조 부품이 들어 있습니다. 기판 설정은 회전 기판 마운트, 회전 속도 (최대 1000 RPM) 및 선택적 웨이퍼 홀더로 구성됩니다. 지지 암은 노즐을 제자리에 잡고 있으며, 선택적 웨이퍼 홀더 (wafer holder) 는 박막 증착을위한 안정적인 표면을 제공합니다. 온도 조절은 기판 설정에 배치 된 히터 (heater) 와 저항기 (resistor) 를 사용하여 이루어집니다. 또한 NRC 3117 장치에는 매개변수 설정, 성능 모니터링, 시스템 제어를 위한 종합적인 제어판이 있습니다. 패널은 프로세서 장치, 아날로그 제어 보드 및 디지털 제어 보드로 구성됩니다. 프로세서 장치를 사용하면 전원, 대상 재료, 증착률 (deposition rate) 과 같은 매개변수를 설정할 수 있으며, 아날로그 (analog) 및 디지털 제어 보드 (digital control board) 는 공구의 성능을 모니터링하고 조절할 수 있습니다. 요컨대, VARIAN 3117은 박막과 막을 제작 할 때 뛰어난 정밀도와 제어를 제공하는 신뢰할 수있는 스퍼터링 에셋입니다. 다양한 재료를 효율적으로 배치할 수 있으며, 정교한 제어판 (Control Panel) 을 통해 모델 성능을 모니터링하고 최적화할 수 있습니다. 고급 기능과 안정적인 성능을 갖춘 3117은 박막 (Thin Film) 및 막 (Membrane) 제작에 이상적인 선택입니다.