판매용 중고 NRC / VARIAN 3117 #171831

NRC/VARIAN 3117은 박막 증착 프로세스에 사용되는 스퍼터링 장비입니다. 폐쇄 루프 DC 전원 공급 장치이며, 0V ~ -700V 범위의 다양한 DC 바이어스 전압을 생산할 수 있습니다. 이 장치에는 수동 및 자동 스퍼터링 제어, 고압 DC 스퍼터링, 고속 스퍼터링, 초고속 스퍼터링 등 다양한 기능이 제공됩니다. 기계 는 "알루미늄 '," 티타늄', 금, 구리 등 여러 가지 재료 에 맞게 구성 될 수 도 있다. 이 스퍼터링 도구는 저압 가스 (일반적으로 아르곤 (argon) 또는 질소) 로 채워진 진공 챔버에서 작동합니다. "가스 '는 전자 빔 진공원 에 의하여 생성 되고 송풍기" 팬' 에 의하여 챔버 '를 통해 순환 된다. 이 "가스 '는" 챔버' 내 에 안정 된 대기 를 유지 하고 있으며, 또한 "챔버 '벽 의 표면 에 침전물 을 쌓는 일 을 막는 데 도움 이 된다. 약실 내 에서, 회전 하는 "마그네트론 '을 사용 하여" 이온' 을 발생 시킨 다음, 표본 을 향해 보내진다. 샘플은 일반적으로 스퍼터링 프로세스 (sputtering process) 가 진행되는 동안 위아래로 이동하고 회전할 수있는 기판 홀더에 배치됩니다. "보우터 '는 또한" 테두리' 에 잘 부착 된 표본 위 에 "레이어 '로" 스퍼터' 된 물질 들 을 박동 시키기 위하여 가열 된다. 마그네트론 (magnetron) 에 대한 전원 공급 장치를 수동으로 설정하거나, 컴퓨터 제어 프로그램 (computer-controlled program) 을 사용하여 스퍼터링 프로세스를 자동화할 수 있습니다. 어느 경우 이든, "마그네트론 '을 통과 하는 전류 를 측정 하여" 이온' 폭격 의 속도 와 강도 를 조정 하는 데 사용 한다. 이를 통해 스퍼터링 프로세스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. NRC 3117 스퍼터링 자산은 프로세스를 모니터링하는 편리한 방법도 제공합니다. 비디오 카메라와 모니터가 내장되어 있어 스퍼터링 프로세스를 실시간으로 볼 수 있습니다. 또한, 집적 회로 소프트웨어 및 하드웨어를 사용하면 증착 과정의 품질을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 전반적으로 VARIAN 3117 스퍼터링 모델은 박막의 정확한 증착을 위해 설계되었습니다. 다양한 기능, 유연성 (Flexibility), 모니터링 (Monitoring) 기능을 통해 다양한 증착 애플리케이션에 적합한 솔루션을 선택할 수 있습니다.