판매용 중고 NRC / VARIAN 3117 #151541

NRC/VARIAN 3117은 고정밀 증착 공정에 사용하도록 설계된 저압 직류 (DC) 마그네트론 스퍼터링 장비입니다. 스퍼터링 시스템은 2 포켓 마그네트론 스퍼터 헤드 (magnetron sputter head) 를 사용하여 다양한 기판 재료에 고품질 코팅을 배치합니다. 스퍼터링 장치에는 증착 수율 및 균일성을 최대화하도록 설계된 RF (Advanced Radio Frequency) 전기 기계가 포함되어 있습니다. 그것 은 금속 에서 "반도체 '및 절연체 에 이르는 여러 가지 물질 을 증착 시킬 수 있다. 또한 NRC 3117에는 거의 완벽하게 깨끗한 환경 (vacuum environment) 을 만드는 진공 도구 (vacuum tools) 와 자산이 정부 표준을 충족할 수 있도록 여러 안전 기능 (safety features) 이 포함되어 있습니다. 진공 모델에는 7 단계 기계식 터보 펌프, 다이어프램 펌프 및 피라니 게이지 (Pirani gauge) 가 있으며 약 1.3 x 10-6 mBar의 샘플을 기본 압력까지 대피시킵니다. 이 장비에는 아웃게싱을 줄이기 위해 차가운 함정 (cold trap), 침착 된 금속이 순수한 스퍼터링 된 금속 (sputtered metal) 인지 확인하기위한 가스 분리기 (gas separator), 대기 오염 수준을 측정하기위한 이온화 게이지 (ionization gauge) 가 장착되어 있습니다. "스퍼터링 '머리 에는 금속 에서 절연체 에 이르는 여러 가지 근원 이 적재 될 수 있다. VARIAN 3117의 전원 공급 장치는 DC 마그네트론 스퍼터링 및 RF 또는 펄스 DC 스퍼터 증착을 위해 구성 할 수 있습니다. RF 전원 공급 장치 (Power Supply) 는 고출력 부하 및 빠른 주파수 전환을 위해 설계되어 증착율 (Deposition Rate) 을 정확하게 제어할 수 있습니다. 0 ~ 1.2kW의 조정 가능한 RF 전력과 0 ~ 4kWS의 조정 가능한 펄스 너비가 가능합니다. 머리는 빠른 응답 (fast response) 과 높은 처리량을 위해 설계되었으며, 프로세스 조건은 최적의 필름 성장을 위해 조정 될 수 있습니다. 3117은 주변 ~ 930 ° C (1706 ° F) 의 광범위한 온도 조절을 제공합니다. 고온 도가니 디자인은 열 구배로 인한 기질의 오염을 방지합니다. NRC/VARIAN 3117에는 고급 소프트웨어가 장착되어 있으므로 닫힌 루프 피드백 제어 및 마이크로 프로세서 지원 작업이 가능합니다. 사용자에게 친숙한 인터페이스를 통해 스퍼터링 및 보조 프로세스를 실시간으로 모니터링, 로깅, 제어할 수 있습니다. 전반적으로, NRC 3117은 다양한 응용 프로그램에서 사용할 수있는 고급, 다목적 스퍼터링 시스템입니다. 사용자 친화적 인터페이스와 다양한 제어 매개변수 (control parameter) 를 통해 고정밀 증착 프로세스에 이상적입니다.