판매용 중고 NRC / VARIAN 3117 #126817

NRC/VARIAN 3117 스퍼터링 장비는 박막의 효율적인 증착을 위해 설계된 고성능, 신뢰할 수있는 스퍼터링 도구입니다. 그것 은 금속, 산화물, 질화물, 에어로겔 과 같은 여러 가지 물질 을 퇴적 시킬 수 있다. 이 시스템은 증발, 이온 폭격, 스퍼터링 등 3 가지 프로세스를 조합하여 사용합니다. 마그네트론, 티타늄 또는 간접적 인 3 가지 마그네트론 구성 중 하나를 선택할 수있는 2 개의 완전 독립 챔버가 있습니다. 이 장치에는 증발과 스퍼터링 모두를위한 2 개의 RF 소스가 포함되어 있으며, 증착률이 높고 균일성이 향상되었습니다. 또한, 기계는 4 "로드 잠금 기능 (load lock capability) 과 두 챔버 모두에 샘플 드럼 (drum) 을 가지고 있어 빠르고 쉬운 샘플 전송 및 로딩이 가능합니다. NRC 3117은 기본 압력 10-6 Torr (10-6 Torr) 의 초고 진공 도구를 장착하여 뛰어난 박막 품질과 균일성을 보장합니다. RF 소스는 주파수, 전원 수준, 펄스 변조 (pulse modulation) 를 제어하여 증착 매개변수의 미세 튜닝을 허용하는 데 사용될 수 있습니다. 에셋에는 다양한 프로세스 매개 변수를 설정하기위한 MFC (Mass Flow Controller) 가있는 조정 가능한 가스 분배 모델뿐만 아니라, 모니터링 및 설정 조건을위한 PC 제어 인터페이스도 있습니다. VARIAN 3117은 사용하기 쉬운 RF 스퍼터 회전 칼라 장비를 갖추고 있으며, 이를 통해 스퍼터링 된 재료의 각도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한, 이 시스템에는 고압 전기 안전 장치 (Electrical Safety Unit) 가 내장되어 있어 소스의 전압을 모니터링하고 잠재적으로 위험한 상황을 방지합니다. 이 기계에는 또한 보안 취급을위한 샘플 받침대 (sample pedestal), 난방 샘플을위한 내성 난방 요소, 필름 특성 제어를 개선하기 위해 여러 개의 자기 및 비활성 가스 소스 (magnetic/inert gas source) 가 포함됩니다. 3117 은 사용자 친화적인 툴로서, 직관적인 사용자 제어 소프트웨어 (user-control software) 와 다양한 기능을 통해 사용이 간편합니다. 고정밀도 증착 기술, 저열 예산 (low thermal budget), 신뢰성 있는 빌드 품질 (build quality) 을 통해 다양한 증착 응용 프로그램에 적합한 선택이 가능합니다. NRC/VARIAN 3117 (NRC/VARIAN 3117) 은 높은 속도와 뛰어난 품질의 균일 한 필름을 사용하여 박막 구조를 만드는 데 이상적인 도구입니다.