판매용 중고 NRC / VARIAN 3115 #70871

NRC/VARIAN 3115는 박막 증착을 위해 설계된 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 2 개의 독립적 인 고진공 스퍼터링 챔버와 4 개의 마그네트론을 사용합니다. 각 마그네트론은 다양한 대상 재료 (target material) 로 사용자 정의할 수 있으며 코팅 된 필름 두께를 독립적으로 제어 할 수 있습니다. 챔버에는 비활성 가스 백필, 펌핑 아웃 스테이션 및 4 표적, 4 마그네트론 스퍼터링 장치가 장착되어 있습니다. 이 시스템은 금속, 금속 산화물 및 금속 질화물 물질을 갖는 코팅 기질 (coating 기질) 과 같은 여러 응용 분야에 적합합니다. 단결정, 다결정, 비정질 및 나노 결정 구조를 포함한 다양한 기질 및 재료를 코팅하는 데 사용할 수 있습니다. 이 장치는 저열 예산 산화물 (low-thermal-budget oxide) 및 질화물 증착 기능을 갖추고 있으며, 박막 응용 프로그램에 뛰어난 인터페이스 품질과 뛰어난 레이어 품질을 제공합니다. NRC 3115 머신은 다양한 토폴로지 및 광 응용프로그램에 대해 고정밀도, 반복 가능한 박차 증착을 제공하도록 설계되었습니다. 6 축 외부 목표 제어 및 4 개의 마그네트론 목표는 모든 하위 계층 특성 및 전체 필름 구성 (예: 구성 균질성 및 광학 선명도) 에 대해 균일 한 제어 기능이있는 박막 (thin film) 을 생성 할 수 있습니다. 또한, 도자기, 투명 전도성 산화물, 금속 질화물 등 여러 층을 함유 한 등급이 매겨진 필름을 생성 할 수있다. 이 도구는 사용자에게 친숙한 직관적인 터치스크린 디스플레이를 통해 강력한, 고급 제어 기능, 최첨단 프로세스 진단 기능을 제공합니다. 이 자산은 또한 Dynamic Process Control, Process Optimization, Diagnostics 등 프로세스 제어에 대한 실시간 피드백 방식을 제공합니다. 또한 그래픽 프로세스 모니터링 (Graphical Process Monitoring) 및 배치 특성 (Deposit Characterization) 을 비롯한 여러 유형의 그래픽 프로세스 제어 기능을 제공합니다. VARIAN 3115 (VARIAN 3115) 는 혁신적이고 안정적이며 비용 효율적인 툴로서, 연구원과 엔지니어들이 탁월한 품질의 고급 박막 제품을 만들 수 있습니다. 따라서 최고 수준의 스퍼터링 기술을 추구하는 조직에 적합한 선택입니다.