판매용 중고 NRC / VARIAN 3115 #70870

NRC/VARIAN 3115는 매우 정확한 박막 증착 응용을 위해 설계된 완전 자동화 스퍼터링 진공 시스템입니다. 고성능, 견고성, 사용자 친화적 인 디자인으로 널리 알려져 있습니다. 이 시스템에는 고급 로터리 스퍼터 건 (Advanced Rotary Sputter Gun) 이 장착되어 있으며, 도체와 절연체 박막을 모두 퇴적 할 수 있습니다. 또한 PLC (Programmable Logic Controller) 및 송풍기 압력 제어가 사용되어 정확한 프로세스 모니터링 및 유지 관리 효율성을 제공합니다. NRC 3115의 챔버 (chamber) 는 매우 깨끗하여 재생성과 균일성이 뛰어난 박막 층을 증착 할 수 있습니다. 여기에는 가변 깊이 목표 홀더 (variable depth target holder) 와 사이트 내 (in situ) 로터리 대상 정렬이 장착되어 있어 목표를 고착 할 위험이 없습니다. 진공 수준은 안정적이며, 증착 중에, 압력 제어는 내장 질량 흐름 컨트롤러를 사용하여 조절됩니다. VARIAN 3115는 박막 증착, 초박막 레이어, 다층 쌓기와 같은 계층 증착 프로세스 등 모든 유형의 스퍼터링 프로세스를 처리하도록 설계되었습니다. 온도 조절 (Temperature control) 은 스퍼터 대상에서 균일 한 온도를 제공하는 데 사용할 수있는 저항 가열 요소를 통해 수행됩니다. 이것은 민감한 재료의 균일하고 완벽한 범위를 보장합니다. 박막 레이어의 스퍼터링 수량과 구성은 프로세스 매개 변수를 조정하여 +/- 0.5% 이내로 정확하게 제어 할 수 있습니다. 두께 제어는 광학 피로미터 또는 타원계를 사용하여 쉽게 수행 할 수 있습니다. 3115 의 큰 챔버 (chamber) 크기는 연속 프로세스 모니터링과 함께 대규모 컴포넌트의 생산이 비교적 쉬워집니다. NRC/VARIAN 3115 (NRC/VARIAN 3115) 는 진공 컴포넌트 생산에 유용한 도구이며, 다양한 기능과 성능 매개변수를 통해 다양한 스퍼터링 프로세스를 성공적으로 처리 할 수 있습니다. 신뢰할 수 있고 사용자 친화적 인 디자인으로 뛰어난 박막 증착 어플리케이션 (Thin Film Deposition Application) 을 선택할 수 있습니다.