판매용 중고 NOVELLUS / VARIAN XM 90 #9226347

NOVELLUS / VARIAN XM 90
ID: 9226347
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1992
Sputtering system, 6" 1992 vintage.
NOVELLUS/VARIAN XM 90은 연구 개발 또는 생산 환경 응용 프로그램을 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. VARIAN XM 90 (VARIAN XM 90) 은 디지털, 모듈 식 챔버로 박막 증착에서 높은 수준의 제어 및 유연성을 제공합니다. 이 시스템은 500mm x 500mm 챔버를 특징으로하며 5 개의 스퍼터링 소스로 구성되며 목표 크기는 10-60cm입니다. 금속, 세라믹, 유기 기질 등 다양한 재료를 처리하도록 설계되었습니다. NOVELLUS XM-90은 프로세스 모니터링 및 최적화를 위한 다양한 옵션을 제공하도록 설계되었습니다. "가스 '는 비활성 및 반응성" 가스' 응용 을 위한 자동화 된 "가스 '조절 장치 를 가지고 있어서" 플라즈마' 를 정확 히 제어 할 수 있다. 또한 압력, RF 전원, 온도 등의 프로세스 매개변수를 조정하여 프로세스 매개변수를 사용자정의할 수 있습니다. 통합 옵티컬 머신 (Optical Machine) 을 사용하면 증착 조건을 실시간으로 모니터링할 수 있으며, 폐쇄 루프 피드백 (Closed Loop feedback) 도구를 사용하여 정확한 필름과 반복 가능한 결과를 확인할 수 있습니다. NOVELLUS/VARIAN XM-90의 디자인은 빠르고 쉬운 샘플 로딩 및 언로드가 가능한 빠른 건조 벨로우 에셋을 특징으로합니다. 또한 XM 70, XP-6010, XP-61000 등 다양한 VARIAN 머신과 기계적으로 호환되도록 설계되어 있어 기존 시설에 쉽게 통합할 수 있습니다. 또한, 이 모델에는 운영자와 장비 모두에 대한 종합적인 안전 연동이 포함되어 있습니다. XM-90에는 프로그래밍 가능한 프로세스 매개변수, 원격 액세스 및 자동 레시피 실행을 허용하는 컴퓨터 제어 프로세스 사이클이 있습니다. 사용이 간편한 GUI (Graphical User Interface) 는 프로세스 레시피를 쉽게 제어하고 모니터링할 수 있도록 설계되었습니다. 또한 VARIAN XM-90의 제어 인터페이스는 연결된 컴퓨터 네트워크를 지원하며 XM 90에 대한 원격 액세스를 제공 할 수 있습니다. 전반적으로 NOVELLUS XM 90은 연구 및 생산 환경 모두를 위해 설계된 고급 스퍼터링 시스템입니다. 다양한 옵션과 기능을 통해 반복 가능한 고품질 필름 (film) 을 위한 프로세스를 정확하게 제어, 최적화할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 탁월한 안전 기능, 기존 시설로의 손쉬운 통합, 원격 액세스를 제공합니다. 따라서 NOVELLUS/VARIAN XM 90은 신뢰할 수 있고 다양한 스퍼터링 머신을 원하는 사용자에게 이상적인 선택입니다.
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