판매용 중고 NOVELLUS / VARIAN 3190 #9216672

NOVELLUS/VARIAN 3190 장비는 다양한 재료에서 박막 증착에 사용되는 멀티 챔버, 진공 기반 스퍼터링 시스템입니다. 경제적으로 효율적이고 처리량 친화적인 방식으로 탁월한 박막 (Thin Film) 속성을 제공하도록 설계되었습니다. VARIAN 3190은 두 개의 주요 섹션이있는 멀티 챔버 디자인을 사용합니다. 프론트 챔버 (Front Chamber) 는 기판 전달 컨테이너로, 재료 처리, 프라이밍, 스퍼터링 및 처리 후 작업을 포함하여 기판과의 모든 작업이 시작됩니다. 리어 챔버 (rear chamber) 는 진공 챔버로, 특정 매개 변수에서 높은 진공이 생성됩니다. 진공실은 재료, 기판 크기, 증착 기술 및 기타 요인에 따라 사용자 정의 조정할 수 있습니다. NOVELLUS 3190에는 2 개의 메인 챔버 외에도 (in-unit wafer magnetic tower), 반 영구 배치 디렉터 및 미세 제어 자기 스퍼터 헤드가 있습니다. 마그네틱 타워 (magnetic tower) 에는 기판을 고정된 위치로 유지하여 필름 증착을 안정화하는 데 도움이되는 2 개의 자석이 있습니다. 반 영구 배치 디렉터 (Semi-Permanent Batch Director) 는 챔버 간의 재료 처리의 일부를 자동화하는 강력한 챔버 내 로봇 팔입니다. 로봇 암은 또한 증착 과정을 정확하게 제어합니다. 미세 제어 자기 스퍼터 헤드 (fine-control magnetic sputter head) 는 스퍼터 시간을 정확하게 제어하고 최대 4 개의 다른 음극에 전원을 공급할 수있는 정밀 조작 구성 요소입니다. 사용자 친화적이고 일관된 재료 처리/스퍼터링 머신 (sputtering machine) 을 제공하는 것 외에도 3190은 영향이 적은 환경 설계로 인정 받고 있습니다. 이 도구는 매우 낮은 흐름 캡슐로 환기 된 챔버 (capsule-vented chamber) 로 작동 할 수 있으므로 밀폐된 환경과 야외 환경 모두에 이상적입니다. 또한 환경 친화적 인 용매를 사용할 수 있도록 설계되어, 휘발성 유기 화합물 (VOC) 방출을 대기로 줄입니다. NOVELLUS/VARIAN 3190 자산은 안정적이고 효율적인 스퍼터링 모델로, 우수한 증착 결과를 제공합니다. 여러 개의 챔버, 로봇 암 (robotic arm) 및 자기 스퍼터 헤드 (magnetic sputter head) 를 갖춘 장비는 다양한 증착 응용 분야에 효과적이고 유연한 솔루션을 제공합니다. 또한 설계 기능을 통해 환경 친화적 인 시스템으로 VOC의 방출 및 비용을 줄일 수 있습니다.