판매용 중고 NOVELLUS MB2 #9270552

NOVELLUS MB2는 오늘날의 고급 반도체 제작 프로세스의 요구를 충족시키기 위해 설계된 차세대 스퍼터링 (sputtering) 장비입니다. 첨단 기술로는 최첨단 플라즈마 발전기, 고성능 대상 및 프로세스 챔버, 업데이트, 사용자 친화적 제어 소프트웨어 등이 있습니다. 대규모/소규모 구성 프로젝트를 모두 수행할 수 있습니다. MB2 의 목표 단계 (Target Stage) 는 뛰어난 스퍼터링 정확도로 설계되었으며 다양한 재료를 스퍼터링할 수 있습니다. 대상 단계에는 다양한 기판 및 목표 크기를 수용할 수있는 디지털 서보 모터 드라이버 (digital servo motor driver), 랙리스 수직 리프트 액추에이터 (rackless vertical lift actuator) 및 위치 챔버 유연성 (positional chamber flexibility) 이 포함됩니다. 또한, 챔버는 고급 차동 펌핑 장치 (differential pumping unit) 덕분에 고염기 압력을 처리 할 수 있습니다. NOVELLUS MB2에는 이중 DC Magnetron과 RF Diode의 두 가지 고성능 플라즈마 소스가 장착되어 있습니다. 두 소스 모두 모든 종류의 증착 과정을 지원할 수있는 최대 플라즈마 밀도 (plasma density) 수준을 제공 할 수 있습니다. 이중 마그네트론 (Dual Magnetron) 은 전체 목표 표면에 대한 넓고 균일 한 커버리지를 제공하여 기질의 표면 손상을 줄이는 데 도움이됩니다. MB2 의 사용자 인터페이스는 직관적이며, 모든 시스템의 기능을 쉽게 제어할 수 있습니다. 업데이트 된 제어 소프트웨어를 통해 사용자는 특정 요구 사항에 맞게 감가 상각 (depreciation) 매개변수를 사용자정의할 수 있습니다. 노벨 러스 MB2 (NOVELLUS MB2) 는 다양한 스퍼터링 프로세스에서 사용할 수있는 안정적이고 견고한 도구입니다. 고급 기술, 제어 소프트웨어, 사용자 친화적 인터페이스로 인해 반도체 어플리케이션에 이상적인 툴이 됩니다. 자산은 정밀도, 정확도가 높아 고품질 레이어 (layer) 와 기판 (substrate) 을 만들 수 있으며, 결함이 최소화됩니다.