판매용 중고 NOVELLUS MB2 #100079

NOVELLUS MB2는 고해상도, 고밀도, 반복 가능한 어플리케이션을 위해 설계된 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 고급 증착 프로세스를 위해 강력하고 효율적인 플랫폼을 제공합니다. MB2 스퍼터링 장치 (sputtering unit) 는 크고 작은 기판 영역에 걸쳐 뛰어난 스텝 커버리지를 가진 매우 균일 한, 등각 필름을 생산할 수 있습니다. NOVELLUS MB2는 고출력 무선 주파수 스퍼터링을 사용하여 빠르고 효율적인 증착을 지원하는 독특한 Digital TVB (Thin Film Vanadium) 기술로 구동됩니다. 고급 제어기 (Advanced Control Machine) 는 정확하고 반복 가능한 스퍼터 증착 프로세스를 가능하게하며, 전체 기판에 걸쳐 뛰어난 재료 일관성과 균일 한 두께를 제공합니다. 또한 디지털 TVB (Digital TVB) 에는 고급 QuickStart 매개 변수와 여러 프로세스 사전 설정이 포함되어 있어 운영자가 여러 배치 프로세스를 빠르고 정확하게 설정하고 실행할 수 있습니다. MB2는 유연성과 사용 효율성을 제공하는 독특한 2 챔버 디자인을 제공합니다. 1 차 증착실은 최대 200mm 기판에 충분히 크며, 작은 샘플 챔버는 최대 75mm 기판을 처리합니다. 샘플 챔버 (sample chamber) 는 메인 챔버 (main chamber) 와 독립적으로 튜닝되어 주 챔버 (main chamber) 의 처리량 및 샘플 챔버 (sample chamber) 의 최적 프로세스 (optimal process) 를 높일 수 있습니다. 이 도구에는 화학 증발 공정을 위해 Ar, O2 및 N2를 포함한 다양한 가스가 장착되어 있습니다. NOVELLUS MB2는 또한 QCM/QCI (Quartz Crystal Microbalance/Quartz Crystal Impedance) 센서 및 OES (Optical Emission Spectroscopy) 센서와 같은 프로세스 모니터링 시스템을 갖추고 있습니다. 이러한 모니터링 시스템은 증착 (deposition) 과정을 면밀히 모니터링하고 정확하게 제어하여 높은 정밀도와 반복성을 보장하는 데 사용됩니다. MB2 는 optoelectronics, microelectronics, power device 등 다양한 애플리케이션에 적합한 다양한 툴과 기술을 제공합니다. 고급 기능과 신뢰성을 결합한 NOVELLUS MB2 (NOVELLUS MB2) 는 정밀 증착 프로세스에 적합한 선택입니다.