판매용 중고 NORDIKO 9550 #293746228

ID: 293746228
Sputtering system.
NORDIKO 9550은 박막의 저온 증착을 위해 설계된 2 밸브 고압 스퍼터링 장비입니다. 두 개의 챔버가 있습니다. 첫 번째는 박막 증착실 (Thin-film deposition chamber) 이며, 다양한 백필 금속에서 박막을 퇴적시키는 데 사용되며, 두 번째는 고압 챔버 (high-pressure chamber) 로 시스템을 채워 균일 한 스퍼터 속도를 제공합니다. 이 장치는 건조하고 젖은 스퍼터링을 모두 할 수 있습니다. 기계에서는 1 차 챔버를 증착실 (deposition chamber) 이라고하며 스테인리스 스틸 챔버 (stainless steel chamber) 와 2 개의 신뢰성 높은 스퍼터링 대상을 갖추고 있습니다. 이 표적은 다양한 스퍼터링 각도에 맞게 조정 될 수 있으며, 작동 전압 범위는 최대 1 킬로볼트입니다. 증착실 에는 또한 자동화 된 "가스 '분사기 가 장착 되어 있는데, 이" 가스' 는 약실 의 "가스 '압력 을 정밀 하게 조절 하고," 스퍼터링' 중 에 온도 조절 을 위해 약실 의 중앙 에 열전대 가 있다. 공구의 두 번째 챔버 (second chamber) 는 고압 챔버 (high-pressure chamber) 이며 스퍼터링 속도를 높이고 박막 증착을 빠르게 가능하게하도록 설계되었습니다. 이 방은 분리 된 가스 라인, 고압 가스 인젝터, 조절 가능한 압력 밸브로 설계되었습니다. 챔버 내부의 압력은 1000 ~ 1400 밀리바 범위에서 조절 할 수 있으며, 이는 스퍼터 레이트 (sputter rate) 와 입자 크기를 최적으로 제어 할 수 있습니다. 챔버에는 통합 된 DC 제어 마그네트론이 포함되어 있으며, 이는 스퍼터링을 위해 균등하게 분산 된 아르곤 플라즈마를 만듭니다. 9550 스퍼터링 자산은 빠르고, 균일하며, 고용량 박막 증착이 필요한 어플리케이션에 적합합니다. 강력한 성능, 특화된 기능 및 안정적인 결과를 제공합니다. 2 챔버 디자인과 조절 가능한 압력을 통해 스퍼터 레이트 (sputter rate) 와 입자 크기에 대한 맞춤형 제어가 가능하며, DC 제어 마그네트론은 스퍼터링에 적합하고 효율적인 플라스마를 보장합니다. 또한, 이 모델은 비용 효율적이며 설치와 작동이 간편합니다.
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