판매용 중고 NORDIKO 3000 #9228384

NORDIKO 3000은 증착실, 진공 펌프, 전원 공급 장치, 제어 장치, 필요한 구성 요소로 구성된 완전한 스퍼터링 장비입니다. 챔버 (chamber) 는 진공 내 전기 피드 스루 (feedthrough) 를 갖도록 설계되어 박막 증착을 위해 기판에 DC 전압을 공급할 수 있습니다. 진공 "펌프 '와 조절 장치 는 약실 에서 최적 의 진공 상태 를 허용 한다. 전원 공급 장치 는 "마그네트론 '을 작동 시키기 위한 것 이며" 스퍼터링' 과정 에 "에너지 '를 공급 한다. 3000에는 자기 서스펜션과 펄스 DC 스퍼터링 기술이 장착되어 있습니다. 이 로 말미암아, 매우 좋은 동질성, 균일성 및 증착 된 금속 을 "기판 '에 잘 접착 시킨 매우 부착 된 금속" 필름' 을 증착 시킬 수 있다. 자기 서스펜션 (magnetic suspension) 은 다소 큰 기판에서도 매우 균일하고 고품질의 스퍼터링 된 필름 기능을 유지하는 데 도움이됩니다. NORDIKO 3000 (NORDIKO 3000) 은 스퍼터링 필름 (sputtered film) 의 금속 층의 증착 속도와 구성 속도를 제어하는 데 중요한 역할을하는 조절 가능한 힘과 주파수를 특징으로합니다. 조정 가능한 펄스 주파수 (Adjustable pulse frequency) 는 펄스에서 불균일하게 가열 된 노드가 제거됨에 따라 개선 된 균일성을 제공하면서 증착률을 증가시킵니다. 그 결과, 3000 개 는 밀도 가 높은 박막 과 다공성 박막 을 만들어 낼 수 있는데, 이것 은 기질 을 매우 잘 고착 한다. NORDIKO 3000 시스템의 멀티 챔버 설계는 2 개의 기판을 동시에 처리하여 처리량을 증가시킵니다. 또한 매우 에너지 효율적이며 프로세스 시간 단축, 균일성 향상, 반복성 향상 등을 제공합니다. 또한, 이 장치는 다중 밀봉 기계로 인해 좋은 환경 보호를 제공 할 수 있습니다. 전반적으로, 3000 개의 스퍼터링 도구는 우수한 성능을 제공하며, 다양한 박막 증착 응용 프로그램에 적합합니다. 그것 은 금속 및 기타 물질 에 대한 훌륭 한 균일성, 반복성, 접착력 을 제공 하여, 증착 과정 을 대단 히 제어 할 수 있다.