판매용 중고 NORDIKO 3000 #293743041
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ID: 293743041
Dual ion beam sputter coater
Cryo pump
(2) Ion canons
(4) GLASSMAN Power supplies
PC
Keyboard with trackball
PC controller non-functional.
NORDIKO 3000: 박막 증착을위한 고급 스퍼터링 장비 (Advanced Sputtering Equipment for Thin Film Deposition 3000) 는 다양한 기판에서 박막을 정확하게 증착하도록 설계된 최첨단 스퍼터링 시스템입니다. 첨단 기술로 최첨단 기술을 통합하여 전자, 광학, 자재 과학 등 업계의 광범위한 애플리케이션을 위한 고성능 스퍼터링 (sputtering) 기능을 제공합니다 (영문). 주요 특징 및 구성 요소: 1. 마그네트론 스퍼터링 소스 (Magnetron Sputtering Sources): NORDIKO 3000에는 자기 향상 플라즈마를 사용하여 대상 물질을 기판에 스퍼터링하는 여러 마그네트론 스퍼터링 소스가 장착되어 있습니다. 이 소스는 넓은 표면적에서 높은 필름 품질과 균일성을 달성하는 데 중요합니다. 2. 기판 홀더 (Substrate Holder): 기계는 다양한 크기와 유형의 기판을 수용 할 수있는 다용도 기판 홀더를 특징으로합니다. 증착 과정에서 기판 온도, 회전, 위치를 정확하게 제어하여 최적의 필름 특성을 보장합니다. 3. 가스 배달 도구 (Gas Delivery Tool): 3000에는 스퍼터링 중 가스 구성 및 유속을 정확하게 제어 할 수있는 정교한 가스 배달 자산이 있습니다. 이를 통해 맞춤형 특성을 가진 복잡한 다층 필름을 증착할 수 있습니다. 4. 진공실: NORDIKO 3000의 진공실은 스퍼터링 프로세스에 필수적인 초고진공 상태를 유지하도록 설계되었습니다. 고급 펌핑 시스템 (Pumping System) 과 압력 모니터링 도구 (Pressure Monitor Tools) 를 장착하여 깨끗하고 안정적인 증착 환경을 보장합니다. 5. 전원 공급 장치 및 제어 모델 (Power Supply and Control Model): 이 장비는 최첨단 전원 공급 장치 및 제어 시스템과 통합되어 전원, 전압, 증착률과 같은 스퍼터링 매개변수를 정확하게 튜닝할 수 있습니다. 이 제어 장치는 재현 가능한 결과를 보장하며 프로세스 최적화를 용이하게 합니다. 6. 자동화 및 소프트웨어 (Automation and Software): 3000은 작업 및 데이터 로깅이 간편한 고급 자동화 기능과 직관적인 소프트웨어 인터페이스를 제공합니다. 사용자는 사용자 정의 배치 레시피 (deposition recipe) 를 만들고, 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링하며, 배치 결과를 효율적으로 분석할 수 있습니다. 어플리케이션 및 이점: NORDIKO 3000은 다음을 포함하여 다양한 박막 증착 어플리케이션에 적합합니다. 그러나 이에 국한되지는 않습니다. - 반도체 장치 제작 - 광학 코팅 - 마모 방지 코팅 - 태양 전지 생산 - 자기 저장 매체 제조 이 기계는 다음과 같은 다양한 이점을 제공합니다. - 높은 증착율 및 필름 품질 - 필름 두께와 컴포지션에 대한 탁월한 제어 - 다양한 기판 영역에 걸쳐 균일한 코팅 - 광범위한 대상 재료와의 호환성 - 생산 규모 제조를 위한 확장성 (Scalability for production-scale manufacturing Overall), 3000은 고급 기술과 다용도 및 신뢰성을 결합한 최첨단 스퍼터링 툴입니다. 고성능 (HPS) 기능은 정확한 박막 증착이 필요한 연구 및 산업 응용에 적합한 툴입니다.
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