판매용 중고 NORDIKO 2550 #11208

NORDIKO 2550
ID: 11208
Metal sputtering systems (4) Targets, 8" Turbo loadlock DC P/S RF Generator CTI Cryo pump VME Controller Cassette to cassette Computer controlled.
NORDIKO 2550은 PVD (Physical Vapor Deposition) 프로세스를위한 최첨단 스퍼터링 장비로, 특히 넓은 지역의 반복적이고 신뢰할 수있는 스퍼터링을 위해 설계되었습니다. 이 시스템에는 프로세스 챔버 (process chamber), 고정밀 로봇 처리 (high-precision robotic handling) 및 다중 스퍼터링 대상 (multiple sputtering target) 이 포함되어 있어 가장 높은 처리 속도를 제공하며 실시간으로 모니터링 및 제어 할 수 있습니다. 이 장치는 인상적인 진공 챔버 (vacuum chamber) 를 자랑하며, 최대 4.5mbar 압력까지 견딜 수 있으며 효율적인 균일 스퍼터링을위한 이상적인 기하학을 특징으로합니다. 혁신적인 모션 머신은 고정밀 로봇을 사용하여 챔버 주변의 표본과 스퍼터링 대상을 이동시키고 2 축 회전 짐벌 (gimbal) 을 사용하여 부드럽고 정확한 프로세스 조정 및 각도 조정을 수행합니다. "로봇 '암 은 신장 과 방향 을 독립적으로 조정 하여" 챔버' 의 어느 곳 에서든지 매끄러운 스퍼터링 을 한다. 사용자 지정 대상 홀더 (custom target holder) 와 개별적으로 제어되는 여러 개의 스퍼터링 소스와 함께 제공되므로, 2550은 다른 대상 재료와 프로세스 매개변수를 일치시킬 수 있습니다. 이렇게 하면 "스퍼터링 '과정 이 신속 히 가속 되고 공정 의 질 이 높아지며, 고도 의 균일 한" 코우팅' 이 만들어진다. 대상 소스는 측면당 최대 8 개의 스퍼터 소스로 가로 또는 세로로 구성 할 수 있습니다. 노르디코 2550 (NORDIKO 2550) 은 자동차 업계의 기능적 부품과 시스템 생산에 이상적인 툴로서, PVD 공정을 광범위하게 사용합니다. 신뢰할 수있는 스퍼터링 도구 (sputtering tool) 는 최대 900mm 면적의 모든 유형의 표면에서 크고, 균일하며, 반복 가능한 코팅을 생성 할 수 있습니다. 이 자산은 백금 (platinum) 과 같은 고귀한 금속, 합금 및 마그네트론 스퍼터링 공정에 사용되는 모든 물질에 이르기까지 다양한 대상 물질을 자랑합니다. 모든 타겟 소스는 쉽게 교환할 수 있으며, 서로 다른 프로세스를 빠르고 효율적으로 설정할 수 있습니다. 또한 2550에는 프로세스 제어 모델 (process control model) 이 포함되어 있어 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링 및 조정할 수 있습니다. 이것은 코팅 두께의 균일성 (uniformity) 이 최소화되면서 공정의 반복성과 코팅 결과의 높은 정밀도를 보장합니다. NORDIKO 2550 (NORDIKO 2550) 은 신뢰할 수 있는 PVD 프로세스를 위한 완벽한 선택으로, 인터페이스를 사용하기 매우 쉽고 모든 유형의 프로세스에 적응할 수 있습니다. 이 장비는 뛰어난 코팅 균일성을 제공하면서 빠르고 쉬운 프로세스 설정 (process setup) 을 제공하므로 산업 대량 생산 공정에 이상적인 스퍼터링 시스템입니다.
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