판매용 중고 NMC iTOPS A230 #293639723

NMC iTOPS A230은 NMC에서 생산 한 고급 물리 증기 증착 (PVD) 스퍼터링 장비입니다. 광범위한 산업, 상업 및 연구 응용 분야를 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 다양한 기판에 금속 및 유전체 산화물 박막 (thin film) 을 배치 할 수 있으며, 정확한 수준의 제어를 통해 고품질의 박막 (thin film) 을 생산하는 데 탁월한 성능을 제공합니다. "스퍼터링 '장치 는" 스테인레스 스틸' 과 "알루미늄 '으로 만들어진 표준 금속 실 에 들어 있으며, 뚜껑은 고온 과 압력 을 견디도록 설계 되었다. 방은 차폐 소스 챔버 (shielded source chamber) 에 연결되어 있으며, 마그네트론 스퍼터링 소스를 수용하며 양성 (positive) 및 음성 (negative) 바이어스 조작이 가능합니다. 직류 (DC) 전원 공급 장치 로 구동 되는 강력 한 마그네트론 은 "플라즈마 '를 생성 하는데, 이것 은 표적 물질 을 기판 에 뿌리는 데 사용 된다. 챔버에는 고에너지 솔레노이드 전원 소스 스위칭 머신 (Source Switching Machine) 이 장착되어 있으므로 다른 소스에서 전환하여 전이 오류를 방지합니다. 이 도구에는 모든 작동 조건에서 부드러운 기판 처리를 보장하기 위해 자동 로드 잠금 (load-lock) 이송 에셋이 장착되어 있습니다. 또한 효율적인 가스 배기 모델 (gas exhaust model) 과 강력한 진공 펌프를 포함하며, 증착 공정에 대한 높은 수준의 진공 상태를 유지할 수 있습니다. 전체 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 장비의 디지털 제어 (digital control) 기술을 통해 설정할 수 있으므로 스퍼터 프로세스를 정확하고 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 시스템은 작동 중 성능 매개변수를 모니터링하기 위해 광학 (optical) 과 적외선 (infrared) 감지 기술을 조합하여 사용합니다. 광학 탐지기 배열을 통해 증착율, 필름 품질, 필름 두께를 지속적으로 모니터링할 수 있습니다. IR 검출기는 증착 된 필름의 온도 변화 및 화학 성분을 측정하는 데 사용된다. 이 장치는 또한 고급 자동 레이어 컴포지션 컨트롤 머신 (automated layer composition control machine) 을 갖추고 있어 레이어 컴포지션을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 통합 소프트웨어 패키지는 사용자 친화적이며 간편한 모니터링/제어 툴을 제공합니다. 결론적으로, iTOPS A230 Sputtering Asset은 다양한 산업, 상업 및 연구 응용 분야에 적합한 고급 모델입니다. 정밀 엔지니어링 (Precision Engineering) 과 고급 기술 (Advanced Technology) 을 결합하면 박막 증착 프로세스를 완벽하게 제어할 수 있으므로 박막 (Thin Film) 의 안정적이고 일관된 품질을 얻을 수 있습니다.