판매용 중고 NEXX SYSTEMS Nimbus 364XP #9212853
이 품목은 이미 판매 된 것 같습니다. 아래 유사 제품을 확인하거나 연락해 주십시오. EMC 의 숙련된 팀이 이 제품을 찾을 수 있습니다.
확대하려면 누르십시오


판매
ID: 9212853
웨이퍼 크기: 12"
Sputtering system, 12"
Loadport type: Porta 300, 12"
EFEM Robot type: GENMARK GB7 (3L7S030635)
Degas
Tray type: T-cool
RF Generator: ICP
3155031-031A RF Match
(5) Magnetrons:
Magnetron types:
Ti (G1)
TiW(G1)
Cu (M4)
Cu (M4)
Cu (M4)
3152422-112S Magnetron power supply
MFC Type:
MFC1-Model: 1179A22CR15V-S
MFC2-Model: 1179A00422CR15V
EBARA VOS100P Dry pump
Cryo pump (etch chamber): CTI-8F Cryo pump, p/n: 8116199G001
Cryo pump (dep chamber): CTI-8F Cryo pump, p/n: 8115914G001
Cryo pump side (dep chamber): CTI-8F Cryo pump, p/n: 8116199G001
Ion gauge (etch chamber): 354005-YE-T
Baratron (etch chamber): 627BU5TDDIB
Ion gauge (dep chamber): 354005-YE-T
Baratron (dep chamber): 627BU5TDDIB.
NEXX SYSTEMS Nimbus 364XP는 중요한 어플리케이션을 위해 설계된 견고한 고성능 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 모든 스테인리스 스틸 인테리어 (Stainless Steel Interior) 와 알루미늄 외부 (Aluminium Exterior) 로 구성되어 뛰어난 내구성과 높은 수준의 성능을 제공합니다. 님버스 364XP (Nimbus 364XP) 에는 프로세스 매개변수의 정확한 제어와 함께 다양한 재료를 동시에 처리 할 수있는 4- 챔버 반응 챔버 (4-chamber reaction chamber) 가 포함되어 있습니다. 이 장치에는 고급 전원 공급 장치, 샘플 홀더의 정확한 포지셔닝을위한 통합 3D 스테퍼 모터, 일관되고 안정적인 작동을 보장하기 위해 새로 설계된 VMPC (VacuumMaster Plus Control Machine) 도 포함됩니다. NEXX SYSTEMS에 내장 된 하이엔드 전원 공급 장치 님버스 364XP (Nimbus 364XP) 는 선택의 재료를 스퍼터팅 하고 고급 펄스 너비 변조 및 전압 펄싱 기술을 사용하여 완벽하게 반복 가능한 프로세스에 이상적인 플라즈마 상태를 보장하는 데 필요한 전원을 제공합니다. 공정 중에 챔버를 통과하는 가스 흐름을 정확하게 제어하기 위해 공구와 통합 된 GFCU (Gas Flow Control Unit) 도 있습니다. 님버스 364XP의 통합 반응 챔버 (integrated reaction chamber) 는 4 개의 개별 챔버로 구성되며, 각각 여러 층의 과정을 완화하고 일관되고 예측 가능한 결과를 제공하기 위해 다른 재료를 스퍼터링 할 수 있습니다. 3D 스테퍼 모터 (3D stepper motor) 는 프로세스를 최적화하기 위해 필요에 따라 각 챔버의 샘플 홀더를 정확하게 배치합니다. VacuumMaster Plus Control Asset (VMPC) 은 세부 오류 로깅 및 실시간 상태 모니터링을 통해 모델의 안정적이고 일관된 작동을 보장합니다. 또한 VMPC 에는 프로세스 매개 변수를 모니터링하고, 필요에 따라 프로세스를 조정하고, 진행 상황을 모니터링할 수 있는 프로그램이 포함되어 있습니다. 전체 NEXX SYSTEMS Nimbus 364XP는 정확한 박막 레이어를 생산하기위한 강력하고 안정적인 스퍼터링 장비를 제공합니다. 이 시스템은 프로세스 매개변수 (process parameter) 의 뛰어난 반복성과 제어를 제공하며, 다용도 4 챔버 설계를 통해 여러 재료를 동시에 처리할 수 있습니다. 고급 전원 공급 장치와 내장형 3D 스테퍼 모터는 우수한 성능을 보장하며, VMPC 는 안정적이고 일관된 작동을 보장합니다.
아직 리뷰가 없습니다