판매용 중고 NEXX SYSTEMS Nimbus 314HP #9289494

NEXX SYSTEMS Nimbus 314HP는 박막 증착 응용 프로그램을 위해 설계된 고급 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 연구 및 생산 수준 응용 모두에 이상적이며, 박막 증착을 위해 정확하고 안정적인 스퍼터링 (sputtering) 을 제공합니다. 통합 된 고순도 가스 전달 장치를 통해 반복 가능하고 재현 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 기계는 세 가지 구성 요소 (고출력 rf 소스, 챔버 및 진공 도구) 로 구성됩니다. rf 소스는 최대 100kW 출력의 고전력 작동을 제공하도록 설계되었습니다. 또한 빠른 냉각, 정밀 압력 제어 및 깨끗한 작동을 위해 설계되었습니다. 약실 은 "스테인레스 '강 으로 만들어져 있고" 알루미늄' 이 늘어져 있어서 견고 하고 튼튼 한 환경 을 갖추고 있다. 또한 전면에서 조정 할 수있는 대상의 자체 정렬, 현장 난방 자산, 자동 도어 로더 (auto-door loader) 및 고전력 증착 도구에 대한 냉각 (옵션) 이 특징입니다. 진공 모델은 고효율과 낮은 유지 관리를 위해 설계되었습니다. 10-2 Torr로 압력을 가하여 효율적인 작동과 높은 정도의 프로세스 제어를 허용합니다. 진공 장비는 터보-분자 펌프, 황삭 펌프, 거친 진공 펌프, 기계식 역방향 게이지 및 극저온 게터로 구성됩니다. 제어 시스템은 사용자 친화적이고 직관적으로 설계되었으며, 색상 코딩된 매개변수 (color coded parameters) 와 세트 포인트 표시기 (set point indicator) 와 같은 기능을 통해 프로세스를 손쉽게 조정하고 제어할 수 있습니다. Nimbus 314HP는 산업 및 연구 스퍼터링 응용 분야에 이상적입니다. 이 제품은 다양한 고급 기능과 완벽한 안전 시스템 (Complete Safety System) 을 갖추고 있어 안정적인 운영 및 반복 가능한 결과를 보장합니다. 또한 간편한 유지 보수, 낮은 유지 보수 비용, 장기적인 서비스 수명을 위해 설계되었습니다. 기본 박막 증착에서 복잡한 멀티 레이어 스퍼터링 (multi-layer sputtering) 에 이르기까지 다양한 애플리케이션에 적합합니다.