판매용 중고 NEXX SYSTEMS Nimbus 304 #9299655

NEXX SYSTEMS 님버스 304 (Nimbus 304) 는 다양한 기판에 재료의 최적의 진공 증착을 위해 설계된 고급 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 효율적인 처리를위한 대형 진공 챔버 (vacuum chamber) 와 빠른 스퍼터 속도 증착 (sputter rate deposition) 을 갖추고 있습니다. 고정밀 로봇 팔은 정확한 스퍼터 제어를 가능하게합니다. 또한 자동 프로세스 컨트롤러 (Automatic Process Controller) 도 포함되어 있습니다. 이 장치는 또한 효율적인 열 냉각기 (thermal cooling machine) 와 강력한 가스 제어 도구 (gas control tool) 를 갖추고 있어 환경을 정확하게 제어하고 최적의 증착 매개변수를 결정합니다. 자산에는 다양한 스퍼터 대상 (sputter target) 과 완전한 스퍼터 증착 화합물이 장착되어 있습니다. "스퍼터 '율 을 가장 높게 유지 할 수 있도록" 모델' 의 증착률 을 빠르고 정확 하게 조정 할 수 있다. 이 장비는 또한 기판 온도의 정확하고 빠른 상하 조절을 허용합니다. 또한, 시스템에는 양방향 RF 생성기가 포함되어 있으므로 증착 과정의 반복성이 높습니다. 고급 제어 장치 (Advanced Control Unit) 는 다양한 진단 및 제어 기능을 제공하여 증착 중 전체 조건을 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 프로세스 모니터링 및 제어를위한 여러 가지 고급 진공 및 압력 게이지 (advanced vacuum and pressure gage) 가 있습니다. LCD 화면과 키패드를 사용하면 시스템을 쉽게 작업할 수 있습니다. 공구의 핵심에는 그리드리스 (gridless) 음극 진공 호 (cathodic vacuum arc) 가 있으며, 스퍼터 증착을위한 안정적이고 높은 온도 환경을 제공합니다. 고전압 펄스 DC 전원 공급 장치를 사용하면 정밀하고 세밀한 전압 및 전류 제어가 가능합니다. 이 에셋에는 많은 정밀 필터 (precision filter) 및 기타 고급 기능이 포함되어 있어 정확하고 재현 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 최고의 안전을 위해 헬름 홀츠 (Helmholtz) 코일은 자기장을 중심으로하고 챔버 내부에 균일 한 필드를 제공합니다. "코일 '기술 은 공기 중 의 먼지 와 다른 퇴적물 을 최소화 하여, 그 과정 에 영향 을 줄 수 있다. 대피 할 때 질소 "가스 '를 사용 하면 진공실 의 순도 가 높아지므로, 증착 을 위한 최적 의 환경 이 된다. Nimbus 304는 진공 증착 프로세스에 최대 성능을 제공하는 고급 스퍼터링 모델입니다. 정밀 엔지니어링과 결합된 고급 (advanced) 기능은 현대 실험실을위한 안정적이고 비용 효율적인 장비입니다.