판매용 중고 NEXX SYSTEMS Nimbus 304 #9289400
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NEXX SYSTEMS Nimbus 304는 필름 균일성이 뛰어난 박막 샘플을 생산하기 위해 고급 기술로 설계된 스퍼터링 시스템입니다. 컴팩트한 크기와 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 는 연구 및 산업 응용에 이상적인 선택입니다. 이 시스템은 특허받은 슬릿/슬랫 기술로 정확하고 안정적인 스퍼터링 프로세스를 제공합니다. 스퍼터 소스의 3 가지 소스가있는 2 개의 음극이 장착되어 있습니다. 각 소스는 독립적으로 제어되어 높은 코팅 처리량 및 정밀 필름을 허용합니다. 가위 리프트 메커니즘은 고품질의 박막에 대해 부드러운 움직임과 최소 진동을 보장합니다. 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 여러 애플리케이션에 대해 쉽게 설치, 구성할 수 있습니다. CGP (Crystal Generating Processor) 및 고급 프로세스 제어 시스템은 스퍼터링 프로세스를 정확하고 안정적으로 제어합니다. 통합 진공실은 좋은 진공 상태와 낮은 배경 수준의 산소와 수분을 제공합니다. Nimbus 304에는 ICB (High-Ionized Cluster Beam) 소스가 포함되어 있으므로, 더 많은 제어 증착을 위해 최대 14 개의 추가 프로세스 매개 변수를 구성할 수 있습니다. 여기에는 산화물, 질화물 및 심지어 금속을 퇴적시키는 데 사용되는 현장 처리가 포함됩니다. 통합 소프트웨어 제품군도 빠르고 효율적으로 작동합니다. 3D Visualizer 소프트웨어를 사용하면 스퍼터링 주기를 빠르고 쉽게 모니터링할 수 있습니다. 또한 소프트웨어에서 데이터 로깅, 데이터 스토리지, 장애 감지 등을 지원합니다. NEXX SYSTEMS Nimbus 304는 민감한 기판에 부드럽고 더 두꺼운 필름에 쉽게 구성 할 수있는 안정적인 고성능 스퍼터링 프로세스를 갖추고 있습니다. 주요 구성 요소의 컴팩트 한 디자인과 온보드 통합은 뛰어난 박막 증착을 보장합니다.
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