판매용 중고 NEXX SYSTEMS Nimbus 304 #9260884

NEXX SYSTEMS Nimbus 304 스퍼터 코팅 장비는 연구 및 산업 스퍼터링 어플리케이션을 위해 고성능, 최적의 유연성을 제공하는 독특한 증착 시스템입니다. 이 장치는 애플리케이션별 프로세스 제어 시스템 (process control system) 을 포함하여 대규모 프로세스와 소규모 프로세스의 요구 사항을 모두 충족하도록 설계되었습니다. Nimbus 304는 6 x 6 인치 (152mm) 챔버, 고효율 마그네트론 스퍼터 소스 및 펄스 DC (PDC) 전원 공급 장치를 사용하여 뛰어난 균일 성, 일관성 및 재생성을 갖춘 스퍼터 박막 코팅을 만듭니다. "가스 '의 흐름 속도 와 압력, 기판 가열, 소스 전력, 표적 의 전류, 약실 의 압력 및 공정 의 압력 제어 는 원하는" 코오팅' 재료 와 두께 "프로파일 '을 정확 하게 전달 하도록 조정 할 수 있는 변수 들 가운데 포함 된다. 대용량 (high power capacity) 은 보다 효율적인 스퍼터 증착 속도를 허용하며, PDC 프로세스 제어 기술은 프로세스 변동성을 줄이고 복잡한 박막 요구사항에 대한 균일성을 향상시킵니다. 스퍼터 소스는 분리 된 금속, 질화물, 탄화물, 산화물, 전도성 합성물을 포함한 모든 표준 스퍼터 재료와 함께 사용하도록 설계되었습니다. NEXX SYSTEMS Nimbus 304는 정교한 프로세스 제어 및 모니터링 시스템을 사용하여 탁월한 프로세스 반복성을 제공합니다. 이 기계에는 다양한 코팅 레시피 라이브러리 (library of coating recipe) 와 맞춤형 개발 옵션 (development options) 이 포함되어 있어 최상의 성능과 결과를 보장합니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface), 터치스크린 제어판 (touchscreen control panel) 및 통합 진단을 통해 모든 스퍼터링 프로세스를 쉽게 설정하고 사용자 정의할 수 있습니다. 이 도구는 또한 극저온 냉각을 제공하여 기판 냉각이 빠르고 냉각 시간이 짧습니다. 냉각 자산에는 약 -100 ° C의 온도에 대한 위상 변화 극저온 냉각이 포함됩니다. 6 인치 챔버 (6 인치 챔버) 는 극저온 냉각 기술과 함께 서늘한 시간으로 인한 스퍼터 손실을 크게 줄이고 고품질의 재생성 박막 (thin film) 을 보장합니다. 또한 Nimbus 304 스퍼터 모델에는 수동 또는 능동 누출 감지, 고급 안전 프로토콜, 개인 보호 장비가 포함되어 있어 처리 중 사용자 안전을 보장합니다. 이 장비는 온라인 서비스 진단, 제어, 손쉽게 액세스할 수 있는 부품 교체를 통해 손쉬운 유지 보수 서비스를 제공합니다.