판매용 중고 NANOTEC SPH-200T #9048860

나노 텍 (NANOTEC) SPH-200T 스퍼터링 장비는 다양한 기판에 얇은 필름을 쉽게 입금하도록 설계된 사용자 친화적 인 스퍼터 증착 시스템입니다. RF (Radio Frequency High Frequency) 전원 공급 장치와 고정밀 루프 제어 장치가 장착되어 있습니다. 챔버 크기는 300 x 200mm (300 x 200mm) 이며 단단하고 유연한 기판 유형의 박막 증착에 사용됩니다. SPH-200T는 유리, 석영, 산화물, 금속, 플라스틱 등과 같은 기판에 광범위한 박막 재료를 증착시키는 데 이상적입니다. 최대 5 개의 개별 대상을 사용하며 18 인치 기판 크기에 대해 최대 2 개를 사용할 수 있습니다. 또한 하나의 타겟으로 다중 레이어 처리를 시뮬레이션 할 수 있습니다. NANOTEC SPH-200T 기계는 다른 응용 프로그램 요구에 따라 다른 RF 스퍼터 모드를 사용합니다. 고밀도 (HD) 모드는 고증착율에서 균일성이 높은 응용에 이상적이며, LD (Low Density) 모드는 유연성 기판 (flexible substrates) 또는 산화된 반도체 웨이퍼 (oxidized semiconductor wafer) 와 같이 어렵거나 연약한 기판에 스퍼터링하기에 적합합니다. SPH-200T 도구는 산소 및 질소와 같은 반응성 가스의 혈장 강화 증착 (PED) 에도 사용될 수 있습니다. 자산의 통합, 사용자 친화적 제어 소프트웨어를 통해 효율적이고 정확한 박막 증착이 가능합니다. 사용자는 침전 매개변수 (예: 스퍼터링 압력, 전력, 시간, 온도) 를 모니터링할 수 있습니다. NANOTEC SPH-200T 스퍼터링 모델은 작동, 유지 관리 및 수리가 쉽습니다. 안정적이고 매우 안전하며 비용 효율적입니다. 모듈식 디자인과 작은 크기로 인해 다른 실험실 또는 제조 환경에서 사용할 수 있습니다. 컴팩트한 설계를 통해 프로세스 검증, 복제 작업을 간편하게 수행할 수 있습니다.