판매용 중고 MRC / TEL / TOKYO ELECTRON Eclipse Star #9108496

MRC/TEL/TOKYO ELECTRON Eclipse Star는 광범위한 재료에 대한 우수한 증착을 제공하기 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 이 "시스템 '의 독특 한 기능 은 금속 으로 된" 스퍼터' 표적 들 의 균일 함 과 균일 한 덮개 를 향상 시키며, 또한 유전체, 금속 산화물, 질화물 의 균일 한 증착 을 가능 케 한다. MRC Eclipse Star는 전용 플라즈마 청소가있는 이중 총 DC 스퍼터링 장치입니다. 어닐링 (anneing) 및 열 처리를위한 고온 벨로 (bell furnace) 와 10-7 Pa.의 기본 진공에 도달 할 수있는 고온의 진공 기능이 특징입니다. 이것은 가스와 액체, 스퍼터링 및 증발 과정과 관련된 다양한 프로세스에 적합합니다. 주요 구성 요소는 2 총 스퍼터링 소스, 고온 벨로, 플라즈마 클리너, 전자 빔 증발 소스 및 높은 진공 펌핑 머신입니다. "스퍼터링 '총 은 양전하" 아르곤' 원자 의 광선 을 표적 물질 쪽으로 가속 시켜 "스퍼터링 '을 한다. 각 "스퍼터 '총 뒤 에 있는 강력 한 자석" 어레이' 는 "아르곤 '원자 광선 을 위한 안내자 역할 을 하여 표적 물질 을 균일 하게 적용 한다. 고온 벨로 (bell furnace) 는 최대 1200C 온도에서 웨이퍼 기판을 연금하거나 열처리하는 데 사용될 수있다. 이를 통해 III-V 및 II-VI 재료를 처리 할 때 결정 구조 및 도핑 프로파일 (doping profile) 을 더 잘 제어할 수 있으며, 금속 사용 시 향상된 수율을 얻을 수 있습니다. 또한, 용광로와 스퍼터링 건 (sputtering gun) 의 조합은 증착 두께의 균일성과 넓은 지역의 균일 한 커버리지를 개선 할 수 있습니다. TEL 이클립스 스타 (TEL Eclipse Star) 는 신뢰할 수 있고 검증된 증착 도구로, 높은 수준의 균일성과 스퍼터 목표의 균일 한 커버가 필요한 프로세스를 위해 설계되었습니다. 그 기능 은 여러 가지 재료 를 신뢰 할 만한 증착 과 "필름 '의 균일성 을 향상 시켜, 다양 한" 스퍼터링' 용도 에 사용 할 수 있게 해 준다.