판매용 중고 MRC / TEL / TOKYO ELECTRON Eclipse Star Mark II #9210090

MRC/TEL/TOKYO ELECTRON Eclipse Star Mark II는 박막 재료의 개발 및 생산에 사용되는 스퍼터링 장비입니다. 스퍼터 프로세스를 설정하고 제어하기 위해 사용하기 쉬운 터치스크린 인터페이스를 제공합니다. 이 시스템은 모듈식이며, 각기 다른 요구 사항과 운영 요구 사항에 맞게 구성할 수 있습니다. 다양한 타겟 크기, 돔 구성, 전원 공급 장치 등을 통해 최적의 프로세스 제어 및 운영 작업을 수행할 수 있습니다. MRC Eclipse Star Mark II 장치는 효율성을 고려하여 설계되었습니다. 자동화된 머신은 동시 스퍼터 프로세스와 더 많은 운영 처리량을 가능하게 합니다. 노즐 설계와 챔버 구조는 프로세스 주기 시간을 줄이고, 플러그 앤 플레이 (plug-and-play) 카세트는 연산자가 목표물을 빠르고 쉽게 로드하고 언로드 할 수 있도록 합니다. 이 자동화는 운영 생산량 및 처리량을 증가시키는 한편, 운영자가 다른 작업을 멀티태스킹할 수 있도록 합니다. 프로세스 반복성과 신뢰성을 보장하기 위해 TEL Eclipse Star Mark II는 높은 순도 이온화 된 가스를 사용하고 클린 룸 환경을 유지합니다. 이 도구는 고품질 스퍼터 필름 (Sputtered Film) 을 매우 높은 증착율, 레거시 시스템보다 최대 2 (2) 의 크기로 달성 할 수 있습니다. 이 높은 증착율은 고급 애플리케이션 요구 사항을 충족하고 프로세스 효율성을 향상시키는 데 중요합니다. 생산 및 공정 효율성을 향상시키기 위해 TOKYO ELECTRON Eclipse Star Mark II 자산은 IBS 검출기 및 균일 센서를 사용하여 독특한 현장 측정 및 제어 기능을 제공합니다. 이 기능은 프로세스의 고급 피드백 (feedback) 과 제어 (control) 기능을 제공하여 프로세스 모니터링 및 최적화를 향상시킵니다. 이 모델은 또한 예측 및 적응 형 프로세스 제어 기능을 제공하여 프로세스 변화를 줄입니다. 마지막으로, Eclipse Star Mark II는 운영자와 주변 환경을 보호하는 안전 기능을 제공합니다. 오픈아크 예방을위한 이온화 가스 탐지 시스템, 안전 커버 및 인클로저 인터 락, 미립자 오염 물질 제거를위한 배기 장비, 운영자 안전 보호를위한 아크 완화 장치 등이 있습니다. 이 시스템에는 오염 방지 및 배기 가스 배출량 감소를위한 진공 통풍 장치 (vacuum venting unit) 도 포함되어 있습니다. 결론적으로, MRC/TEL/TOKYO ELECTRON Eclipse Star Mark II는 박막 재료의 높은 처리량 생산을 위해 설계된 스퍼터링 머신입니다. 이 제품은 자동화된 프로세스 제어 도구, 고급 피드백 (feedback) 및 제어 기능, 운영자 보호를 위한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 독보적인 기능을 통해 효율적이고 반복 가능한 스퍼터 (sputter) 프로세스를 통해 가장 까다로운 애플리케이션 요구 사항을 충족할 수 있습니다.