판매용 중고 MRC / TEL / TOKYO ELECTRON Eclipse Mark IV #293807041

MRC/TEL/TOKYO ELECTRON ECLIPSE Mark IV는 스퍼터 증착 공정에서 우수한 성능 수준을 제공하도록 설계된 고급 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 다중 dc (직류) 음극 아크 소스를 사용하여 저에너지 이온 빔 (ion beam) 을 생성하여 일관된 레이어 증착을 위해 최적의 환경을 만듭니다. 이 장치는 이중 수평 평면 동작, 매우 정밀한 단계 회전, 부드러운 동작 제어 및 통합 자동 프로세스 레시피를 갖추고 있습니다. 고품질의 평면 패널 디스플레이 재료 및 다양한 광학 부품에 대해 신뢰할 수 있는 균일 한 두께 제어 (thickness control) 를 제공합니다. 이 기계에는 4 개의 독립적 인 스퍼터 소스가 장착 된 10면 사각형 챔버 (10-side square chamber) 가 있으며, 이 소스는 처리량이 높고 총 비용이 저렴합니다. 공구의 프로세스 기능은 또한 스퍼터 소스에서 +/- 90 ° 씩 기판 회전을 가능하게하며, 로드 잠금 (load lock) 은 온도 조절을 가능하게하며 기판 보유 정확도를 높이는 데 중점을 둡니다. 또한, 자산은 또한 스퍼터 소스와 기판 보유자 사이에 우수한 자기 정렬을 제공합니다. Mark IV는 사용자에게 친숙한 GUI (Graphic User Interface) 를 사용하여 모델을 직관적이고 간단하게 작동합니다. 이 GUI는 사용자가 선택할 DC (직류) 스퍼터, RF (무선 주파수) 스퍼터, 증발 및 화학 증발과 같은 다양한 프로세스를 제공합니다. 또한, 이 장비의 고성능 클러스터 계산 시스템은 처리량 및 프로세스를 최적화하는 데 도움이 됩니다. Mark IV의 고급 TMFC (Total Mass Flow Control) 기술은 스퍼터 증착 과정에서 스퍼터 소스 조건과 챔버 압력을 최적화하고 스퍼터 소스 사이의 가스 흐름 교차 오염을 줄입니다. 이 TMFC 기술은 또한 변형을 최소화하여 정밀한 프로세스 제어 및 일관된 필름 품질을 보장합니다. 또한, 이 장치에는 효율적이고 균일 한 필름 증착 및 에칭을 가능하게하는 특허 된 펄스 스퍼터 소스 (pulse sputter source) 기술이 장착되어 있습니다. 요약하면, MRC Eclipse Mark IV는 뛰어난 스퍼터 증착 성능을 제공하기 위해 설계된 최첨단 스퍼터링 머신입니다. 다중 DC 음극 아크 소스, 이중 수평 평면 모션, TMFC 기술, 특허받은 펄스 스퍼터 소스 기술 등 첨단 기능 및 기술은 FPD 및 기타 광학 관련 산업의 고품질 박막 증착 애플리케이션에 적합합니다.