판매용 중고 MRC / TEL / TOKYO ELECTRON Eclipse Mark II #9093156

MRC/TEL/TOKYO ELECTRON Eclipse Mark II는 얇은 재료를 기판에 증착시키는 데 사용되는 혁신적인 스퍼터링 장비입니다. 수많은 독점 기술을 활용하여 짝수, 균일성, 반복성을 보장합니다. 이 "시스템 '은 고도 의 연구 및 생산 작업 의 필요 를 충족 시키기 위하여 설계 되어 있으며, 정밀 하게" 웨이퍼' 에 5nm 미만 의 입자 를 증착 시킨다. 이 장치는 3 축 로봇 플랫폼을 기반으로하며 많은 스퍼터링 소스를 갖추고 있습니다. 이러한 소스는 타겟을 향해 정렬되며, 이는 플랫 웨이퍼 (flat wafer) 또는 원통형 샘플 일 수 있습니다. 이 기계는 두께가 최대 2000nm 인 단일 및 다중 레이어 필름의 빠르고, 정확하며, 반복 가능한 스퍼터 증착을 제공합니다. 이 도구는 사용자가 MRC Eclipse Mark II 소프트웨어를 통해 여러 증착 레시피를 만들 수 있도록 하는 독특한 장점을 가지고 있습니다. 스퍼터링 소스는 독립적으로 프로그래밍될 수 있으며, 이를 통해 사용자는 대상 필름 (Film) 레이어의 공간 증착 패턴을 사용자정의할 수 있습니다. 또한, 혁신적인 텔 이클립스 마크 II (TEL Eclipse Mark II) 는 퇴적되는 재료의 유형이나 대상 기판의 크기에 관계없이 안정적인 증착률을 제공합니다. 또한, 이 자산은 필름 구성과 두께를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이클립스 마크 II (Eclipse Mark II) 는 또한 증착 과정에서 오염 물질과 필름 파편을 제거하는 자동 청소주기를 특징으로합니다. 이것은 dc 플라즈마 에칭 기술을 통해 수행되며, 이는 재료 내에서 손실이 발생하지 않도록 방지합니다. 이 청소 프로세스는 쉽고 반복 가능한 청소 절차를 위해 TOKYO ELECTRON Eclipse Mark II 소프트웨어로 간단히 프로그래밍 할 수 있습니다. MRC/TEL/TOKYO ELECTRON Eclipse Mark II는 고급 온도 조절 모델도 포함합니다. 이 로 말미암아 장비 전체 에 균일 한 온도 가 있게 되는데, 이 온도 는 얇은 "필름 '을 기판 에 증착 시킬 때 매우 중요 하다. 증착 과정에서 MRC Eclipse Mark II (MRC Eclipse Mark II) 는 증착 과정에서 기질의 온도를 프로그램 적으로 조정하여 열적 차원이 안정적인지 확인하는 기능을 갖습니다. 전반적으로 TEL 이클립스 마크 II (Eclipse Mark II) 는 혁신적인 스퍼터링 시스템으로, 얇은 재료를 기판에 증착시키는 전례없는 정확성과 정확성을 제공합니다. 이클립스 마크 II (Eclipse Mark II) 와 같은 고급 제어 소프트웨어를 사용하면 원하는 다양한 애플리케이션에 대한 증착 프로세스를 빠르고 쉽게 구성할 수 있습니다. 또한 고급 온도 제어 (temperature control) 및 자동 클리닝 (automatic cleaning) 기능은 최고 수준의 정확성과 반복 가능성을 보장합니다.