판매용 중고 MRC / MAT-VAC 943 #9173799

MRC/MAT-VAC 943은 Taga Manufacturing Company에서 박막 증착 응용 프로그램에 사용하기 위해 개발 한 다재다능한 진공 스퍼터링 장비입니다. 이 "시스템 '은 유리," 플라스틱', "실리콘 '및" 세라믹' 과 같은 기판 에 매우 다양 한 재료 특성 을 고도 의 정확도, 반복성 및 균일성 으로 증착 시킬 수 있다. 이 장치는 2 개의 주요 구성 요소 (음극을 수용하는 메인 챔버 (main chamber) 와 스퍼터링 프로세스 수행에 사용되는 진공 인클로저 (vacuum enclosure)) 로 구성됩니다. 주 챔버에는 Direct Current 또는 Radio Frequency 전원이 공급됩니다. 양극과 음극은 챔버에 연결되고 기질은 사이에 배치된다. 양극은 대상 재료이고 음극은 스퍼터링 된 물질을 끌어들입니다. 주 "챔버 '의 압력 은" 펌프' 의 도움 으로 진공 상태 를 조성 함 으로써 유지 된다. 온도, 산소 및 아르곤 (argon) 수준과 같은 챔버의 다른 매개변수를 제어하기위한 가스 입구 (gas inlet) 도 존재합니다. 챔버의 온도는 5 ° C - 1000 ° C이며 압력은 0.5mbar - 1000mbar에서 조정할 수 있습니다. 기계에 대한 전원 입력은 0.01 A - 100 A에서 조정할 수 있으며 주파수는 1 kHz - 50 kHz입니다. 스퍼터 증착 속도를 달성하기에 충분히 빠릅니다. 이 도구는 안전 연동 시스템 (Safety Interlocking System), 터치패드 입력이 있는 가스 경보 (Gas Alarm) 및 상세한 제어 작업과 같은 안전 기능으로 설계되었습니다. 또한 사용자 친화적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 와 내장형 데이터 로깅 소프트웨어 (데이터 로깅 소프트웨어) 를 통해 실시간 모니터링 및 맞춤형 보고 기능을 수행할 수 있습니다. 또한, 자산은 터보 분자 (turbo molecular) 와 확산 펌프 (diffusion pump) 를 사용하여 높은 압력을 유지하는 통합 진공 모델로 설계되었습니다. 장비는 온도 조절 시스템 (temperate control system) 으로 설계되었으며, 사용자는 증착 중에 전체 기판 표면의 일정한 온도 프로파일을 유지할 수 있습니다. 결론적으로, MRC 943 (MRC 943) 은 거의 모든 박막 증착 요구 사항을 충족하도록 조정 할 수있는 광범위한 매개 변수를 갖춘 강력하고 신뢰할 수있는 스퍼터 유닛입니다. 무선 주파수 (radio-frequency source), 고속 냉각 시스템 (rapid high-end cooling system) 과 같은 첨단 기술 발전이 잘 갖추어져 있습니다. 이 기계는 균일성이 높은 높은 높은 정확도, 반복 가능한 박막 증착이 필요한 모든 응용 프로그램에 이상적입니다.