판매용 중고 MRC Mark IV #293652073

MRC Mark IV는 박막 증착을위한 고급 스퍼터링 장비입니다. 이 제품은 다양한 목표물과 "가스 '를 사용하여 높은 균일성을 지닌 넓은 지역을 코팅하기 위한 강력한 도구입니다. 유연한 설계를 통해 다양한 프로세스 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 시스템의 중심에는 다중 채널 RF 마그네트론 스퍼터링 장치가 있습니다. 이를 통해 증착율이 향상되고 생산 효율성이 향상됩니다. 이 기계는 최대 350mm 크기의 기판을 타겟팅 할 수 있으며, 시야는 최대 140 x 140mm 입니다. 표준 구성에는 최대 4 개의 타겟이 동시에 스퍼터링되고 3 존 (Zone) 플랫폼을 통해 구성됩니다. 각 zone 은 독립적으로 제어되며, 서로 다른 "가스 '로 구성할 수 있으므로 운영자가 프로세스를 세밀하게 조정할 수 있습니다. 이 도구는 또한 알루미나, 실리카, 티타니아, 바나듐, 크롬 등 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 애플리케이션에 따라, 고객의 요구 사항에 가장 적합한 다양한 구성 (압력, 전력, 온도) 을 선택할 수 있습니다. 또한, 자산은 멀티 스퍼터링 (multi-sputtering) 및 멀티 레이어 커버리지 (multi-layer coverage) 를 위해 단일 사이클에서 여러 대상을 다른 전력으로 사용할 수 있습니다. 이를 통해 고객은 필름 증착 과정에서 더 큰 제어, 유연성 및 정확성을 얻을 수 있습니다. Mark IV는 매우 정밀한 어플리케이션을 위해 설계되었습니다. 그것은 GMS 및 아르곤 이온이 플라즈마 밀도의 균형을 맞추고 기판의 균일 한 증착 두께를 보장하는 데 사용되는 정교한 AutoGas ™ 모델을 특징으로합니다. 이 때문에 MRC Mark IV는 코팅 유리, 쿼츠, 금속 및 세라믹 표면을 포함한 다양한 반도체, MEMS 및 Optics 응용 프로그램을위한 이동 장비입니다. 이 시스템에는 프로세스 무결성 (Process Integrity) 으로 알려진 효과적인 QA/QC 장치를 포함한 일련의 진단 도구가 장착되어 있습니다. 이를 통해 고객은 타겟 배출 (Target Emission) 및 기판 응답 (Substrate Response) 을 포함한 전체 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 추가 도구에는 레시피 제어, 전체 머신 모니터링, 프로세스 제어 및 다중 종료 옵션이 포함됩니다. 이렇게 하면 프로세스가 일관되고 모든 실행에서 생산량이 최대화됩니다. 결론적으로, 마크 IV (Mark IV) 는 균일성이 큰 박막을 부드럽고 정확하게 증착 할 수있는 고급 스퍼터링 도구입니다. 정교한 마그네트론 (Magnetron) 기술 덕택에, 넓은 영역을 정밀하게 코팅하고, 다양한 재료를 처리할 수 있습니다. 통일성이 높은 넓은 영역을 코팅하기위한 강력한 도구이며, 반도체, MEMS, 광학 응용프로그램 (optics application) 을 위한 탁월한 선택입니다.