판매용 중고 MRC Eclipse #9296418

MRC Eclipse는 박막 증착을 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 그것은 물리적 스퍼터 증착 방법을 사용하여 기판에 얇은 필름을 증착합니다. 이 "시스템 '은" 스퍼터드' 필름 의 질 을 조절 하기 위해 밀봉 된 챔버 인 진공실 로 설계 되었다. 약실 에는 여러 개 의 "포트 '와" 밸브' 가 있어서 운전자 가 "스퍼터링 가스 '의 흐름 을 제어 할 수 있다. 스퍼터링 과정은 일반적으로 금속 판 (금속 판) 인 표적이 진공 챔버 (vacuum chamber) 에 배치되고 외부 에너지원 (예: 무선 주파수 또는 직류) 에 노출 될 때 시작됩니다. 표적 이 활력 이 넘치는 입자 들 로 폭격 을 당하면, 표적 물질 의 원자 들 이 분출 되어 "기판 '으로 이동 하여 얇은" 필름' 을 형성 한다. 이클립스 (Eclipse) 는 매우 구성 가능한 단위로, 운영자가 박막 품질을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이것은 평면, 마그네트론, 하이브리드 스퍼터링 (hybrid sputtering) 과 같은 다양한 스퍼터링 프로세스와 반응성 스퍼터링 (sputtering) 에 대해 설정 될 수 있습니다. 여러 대상 및 하위 타겟으로 시스템을 구성할 수도 있습니다. 이를 통해 고급 필름 스택 (advanced film stack) 을 위해 서로 다른 재료 레이어를 사용하여 증착 결과를 향상시킬 수 있습니다. 이 도구는 컨트롤러로 설계되었으며, 이 컨트롤러를 통해 운영자가 프로세스를 면밀히 모니터링할 수 있습니다. 이 컨트롤러는 챔버 압력, 가스 흐름, 증착률, 호 침식 및 전력 수준을 조절 할 수 있습니다. 또한 사용자는 다양한 증착 프로세스에 대한 다양한 레시피를 프로그래밍 할 수 있습니다. 이 컨트롤러는 또한 사용자가 레시피를 손쉽게 저장하고 리콜할 수 있게 해 주며, 이를 통해 증착을 간소화할 수 있습니다. 전반적으로 MRC Eclipse는 신뢰할 수 있고 사용자 정의 가능한 스퍼터링 자산입니다. 운영자는 신뢰할 수있는 증착 특성을 가진 기판에 박막 (thin film) 을 정확하게 배치 할 수 있습니다. 또한 다양한 프로세스 레시피 (레시피) 를 손쉽게 선택하여 저장할 수 있습니다. 이렇게 하면 프로세스의 효율성과 높은 수준의 성능이 보장됩니다.