판매용 중고 MRC 944 #9266003

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MRC 944
판매
제조사
MRC
모델
944
ID: 9266003
Sputtering system.
MRC 944는 박막의 물리적 증기 증착 (PVD) 에 사용하도록 설계된 무선 주파수 (RF) 스퍼터링 장비입니다. RF 소스를 사용하여 필름 증착에 스퍼터링 파워를 제공하는 플라즈마를 생성합니다. 이 시스템은 높은 증착율, 저전압, 긴 수명, 사용자 친화적 운영을 위해 설계되었습니다. 944는 RF 발전기, 스퍼터 대상, 전원 공급 장치, 가스 공급 장치 및 진공 실로 구성됩니다. 발전기는 대상 재료에 최대 2kW를 공급하는 고출력 RF 소스입니다. 대상 재료는 일반적으로 금속 또는 반도체 재료입니다. 전원 공급 장치는 RF 발전기로 구동되며 타겟에 최대 5kV 의 전원을 공급합니다. 그것 은 목표물 을 "스퍼터 '하는 데 필요 한 고전압 을 발생 시키는 데 사용 된다. "가스 '공급기 는" 스퍼터' 청소 를 위한 비활성 "가스 '와 증착 과정 의 배경 압력 을 공급 한다. 진공실 은 "챔버 '로부터 공기 를 대피 시키고 증착 과정 중 에 저압 환경 을 유지 하는 데 사용 된다. MRC 944의 RF 스퍼터링 공정은 정확한 두께 제어 (thickness control) 를 가진 기판에 균일 한 커버리지를 생산하기위한 것입니다. 이는 증착 시간 (증착 시간) 과 목표물에 공급되는 전력을 조정함으로써 달성됩니다. 대상에 공급되는 전력을 바꾸면 증착률을 조정할 수 있다. & # 160; & # 160; 범위의 균일 성은 플라즈마 밀도와 기질 바이어스 전압을 제어함으로써 달성된다. 자성 차폐 (magnetic shielding) 및 온도 조절이 가능한 스퍼터 대상 (sputter target) 을 사용하여 944의 출력을 향상시킬 수 있습니다. 이렇게 하면 소음을 줄이고 고르지 않은 증착 결과를 방지할 수 있습니다. 알맞은 설정으로, 뛰어난 고품질, 신뢰할 수 있는 박막 (Thin Film) 결과를 얻을 수 있습니다. MRC 944 도구는 마이크로 일렉트로닉스, 광학 코팅, 생의학 재료 및 기타 여러 분야에서 박막 (thin-film) 의 물리적 증착에 사용됩니다. 긴 수명, 낮은 유지 관리 요구 사항, 사용자 친화적 인터페이스 등으로 많은 실험실 및 제조 (manufacturing) 애플리케이션에 적합합니다. 944 는 많은 애플리케이션에 대해 안정적이고 일관된 결과를 제공하는 데 좋은 기록을 가지고 있습니다.
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