판매용 중고 MRC 943 #9373252

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제조사
MRC
모델
943
ID: 9373252
Sputtering system Load locked RF and DC With substrate heat and RF etch (2) Planer cathodes Inset cathode Cathodes: 5" x 15" Substrate carrier: 13" x 13" CRT Screen ADVANCED ENERGY MDX10K DC Magnetron power supply ADVANCED ENERGY RFX II 3000 RF Generator.
MRC 943은 일반적으로 반도체, 항공 우주, 의료, 자동차 및 기타 산업 응용 분야에 사용되는 스퍼터 증착 기기입니다. 정확하고, 반복 가능하며, 비용 효율적인 방법으로 고품질의 일관된 퇴적물 층을 생산하도록 설계된 3 빔, 행성-형상 스퍼터 증착 장비입니다. 이 기기는 물리적 증기 증착 (PVD), 폴리머 증착 및 반응성 스퍼터 증착을 포함한 다양한 처리 기능을 제공합니다. 943은 3 빔 스퍼터링 소스, 회전 축 및 진공실로 구성됩니다. 스퍼터링 소스에는 개별적으로 조절 가능한 3 개의 음극이 장착되어 있으며, 동시에 별도의 재료를 스퍼터팅 할 수있는 기능을 제공합니다. 별도의 음극을 사용하면 복잡한 패턴 작업을 단순화 할 수있는 다중 프로세스 증착이 가능합니다. 3 개의 자기 터보 기어는 시간당 최대 110 개의 회전 기판 회전을 제공하여 균일 한 코팅을 허용합니다. MRC 943의 이중 통로 회전 축 (dual passage rotary axis) 은 프로세스 시간을 최소화하고 최소 5 분 안에 여러 레이어를 배치 할 수 있도록 합니다. 943 시스템은 도체, 광학 코팅, 박막 장벽 등 다양한 특성을 가진 재료를 증착 할 수 있습니다. 이 장치는 다양한 스퍼터링 가스를 사용하며, 회전, 사이클링, 전달 등을 위해 기판을 프로그래밍 할 수 있습니다. 이 기기는 매우 구성 가능하며, 가스압 (gas pressure) 과 처리 시간 (processing time) 과 같은 매개변수를 특정 응용 프로그램에 맞게 조정할 수 있습니다. 또한, MRC 943 은 탁월한 프로세스 제어 및 반복 기능을 제공하여 운영 환경 애플리케이션에 적합합니다. 943은 강력하고, 정확하며, 비용 효율적인 스퍼터 증착 기구로, 고품질의 균일 한 퇴적층을 생산할 수 있습니다. 항공 우주, 의료, 자동차 등 다양한 산업 응용 분야에 이상적인 다양한 가공 재료를 생산합니다 (영문). MRC 943 머신은 복잡한 생산 작업을 용이하게 하기 위해 사용자에게 다중 음극 작업 (multiple cathode operation) 및 회전 축 (rotary axis) 과 같은 여러 기능을 제공합니다. 또한, 이 도구는 뛰어난 프로세스 제어 기능을 제공하며, 정밀한 레이어와 뛰어난 결과를 위한 높은 정확도를 제공합니다.
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