판매용 중고 MRC 943 #9220994

MRC 943 스퍼터링 (sputtering) 장비는 다양한 재료의 플라즈마 층으로 샘플을 코팅하도록 설계된 이중 챔버 시스템입니다. 이 장치는 표준 (S) 및 긴 증착 (L) 을 포함하여 4 개의 자기 강화 된 광선 방전 모델로 구성됩니다. 각각 표준 및 고 필라멘트 (HF) 구성이 있습니다. 이 "코우팅 '기계 는 용도 가 다양 한" 디자인' 과 폭 넓은 범위 때문 에 여러 가지 응용 에 사용 하기 에 이상적 이다. 943 스퍼터링 도구는 두 개의 개별 스퍼터링 챔버로 구성됩니다. 주 약실은 에셋의 하부 부분이며, 여기에는 필라멘트 (filament) 구성이 포함됩니다. 이것 은 원하는 "코우팅 '재료 를 기판 에 묻히는 데 필요 한" 플라즈마' 를 생산 하는 주된 작업 영역 이다. 이 챔버 내부에는 2 개의 전극이 있으며, 이는 적용에 따라 표준 또는 고 필라멘트 일 수 있습니다. 2 개의 전극은 별도의 고전압 공급 장치 (High Voltage Supply) 로 구동되며 효율성을 높이기 위해 자석이 장착되어 있습니다. 또한, 챔버에는 터보 분자 펌프 (turbomolecular pump) 가 장착되어 있으며, 이는 잔류 플라즈마 또는 가스의 챔버를 대피시키는 역할을합니다. 모델의 윗부분에는 프로세스 챔버 (Process Chamber) 를 포함하는 두 번째 챔버가 있습니다. 이 "챔버 '는 장비 전체 에 균일 한 압력 과 온도 를 유지 하는 한편, 증착 과정 의 결과 로" 기판' 이 손상 되지 않도록 보호 하도록 설계 되었다. 이 챔버 (chamber) 안에 기판이 베이스 플레이트 (base plate) 에 배치되고, 이어서 뚜껑으로 닫혀 밀폐된 시스템을 형성합니다. 가열원 (heating source) 은 이 공간 내부의 온도를 제어하는 데 사용되며, 또한 원하는 압력을 유지하는 역할을 합니다. 이 장치는 기존의 물리적 증기 증착 (PVD) 프로세스에 대한 대안으로 사용됩니다. 그것 은 "필름 '의 비용 을 줄이면서도 기판 의 손상 을 최소화 하도록 설계 되었다. 그것 은 또한 다른 방법 들 보다 더 효율적 인데, 그 이유 는 "에너지 '의 요구량 을 감소 시키면서 증착 률 을 증가 시키기 때문 이다. 또한, 이 기계는 응용 프로그램에 따라 코팅이 다른 컴포지션으로 적용 될 수 있으므로 유연성을 제공합니다. 더우기, "마그네트론 '은" 코우팅' 과정 을 정확 히 제어 하여 높은 수준 의 정확도 와 정밀도 를 보장 해 준다. 전반적으로, MRC 943 스퍼터링 도구는 다양한 산업의 정밀 코팅 응용 분야에 적합한 선택입니다. 박막을 기판에 배치하는 다재다능하고 효율적인 방법이며, 신뢰할 수있는 결과와 높은 수준의 균일성 (unifority) 이 있습니다.