판매용 중고 MRC 943 #9199346

MRC 943은 박막 코팅 응용 프로그램의 연구 및 개발에 사용되는 고급 D.C. Magnetron Sputtering 장비입니다. 크고 신뢰할 수있는 마그네트론 건과 광범위한 증착율 제어 기능이 있습니다. 이 시스템에는 향상된 성능과 정확성을 위해 증착실에 균일 한 플라즈마 (plasma) 를 보장하기 위해 고급 고주파 공진강 플라즈마 발전기 (plasma generator) 가 장착되어 있습니다. 943 에는 최대 4 개의 대상 재료를 동시에 통합 할 수있는 멀티 챔버 (multi-chamber) 구성이 포함되어 있습니다. MRC 943 (MRC 943) 의 통합 프로세스 제어 유닛은 전력 수준, 가스 흐름 속도 및 가스 압력을 쉽게 조정하는 기능을 포함하여 프로세스 매개변수의 폐쇄 루프 (closed-loop) 제어를 특징으로합니다. 이 기계는 광범위한 스퍼터 코팅 단계 시퀀스 (sputter coating step sequence) 를 수행하고, 노출을 모니터링하고 조정하여 정확하고 반복 가능한 증착 결과를 보장 할 수 있습니다. 또한, 온보드 냉각 팬은 작동 온도를 줄이고, 도구의 안정성과 수명을 향상시킵니다. 높은 정확도로 수많은 기판에 증착을 수행하기 위해, 943 (943) 은 2 개의 별도의 독립 음극을 포함하며, 이 음극은 원격으로 조정되어 평면 또는 원통형 자기장 중에서 선택할 수 있습니다. 이 기능 을 사용 하여, 전자 "플럭스 '를 정밀 히 제어 하고, 여러 가지 기판 크기 와 모양 에 걸쳐 균일 한 증착 을 할 수 있다. 이 자산은 시간 및 에너지를 절약하기 위해 사전 설정된 코팅 레시피를 포함하여 사용하기 쉬운 제어 틸팅 디스플레이 (Control Tilting Display) 에서 작동합니다. 또한 문제 해결을 위한 자동 실행 종료 진단 기능이 있습니다. 또한 사용자는 증착 압력 (deposition pressure), 온도 (temperation), 프로세스 매개변수 (process parameter) 와 같은 정보를 표시하는 시각적 인터페이스를 사용하여 전체 증착 프로세스를 모니터링하고 레시피를 실시간으로 조정할 수 있습니다. MRC 943에는 레시피 로드, 증착 제어 및 모니터링, 피드백 및 보고를위한 포괄적 인 소프트웨어 패키지가 포함되어 있습니다. 병렬, 데이터 로깅 기능, 프로그래밍 가능한 하드웨어 등의 추가 기능 (예: 여러 MRC 시스템 병렬 제어 기능) 도 지원됩니다. 간단히 말해서, 943은 강력하고, 사용하기 쉽고, 신뢰할 수있는 스퍼터링 모델로, 전체 프로세스에 대한 정확한 균일성과 제어를 통해 높은 정밀도로 빠른 증착을 제공합니다. 연구 실험실, 과학 실험실 및 산업 공정 모두에 적합합니다.